[发明专利]可拉伸显示面板

权利要求书

1.一种可拉伸显示面板，包括：

可拉伸膜，具有多个第一开口；

图案化绝缘结构，包括：

多个岛状部；以及

多个桥接部，其中相邻的该些岛状部经由对应的该些桥接部而相连；

多个发光元件，位于该些岛状部上方；

多条导线，位于该些桥接部中；以及

图案化的硬掩模层，覆盖该图案化绝缘结构，且具有重叠于该些第一开口的多个第一通孔，其中该图案化的硬掩模层的厚度小于或等于1000埃。

2.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，其中各该第一通孔包括倾斜侧壁，且该倾斜侧壁的水平宽度小于0.5微米。

3.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，还包括：

多个主动元件，设置于该些岛状部中。

4.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，还包括：

多个接垫，设置于该些岛状部的表面，且该图案化的硬掩模层还包括重叠于该些接垫的多个第二通孔。

5.如权利要求4所述的可拉伸显示面板，其中该图案化的硬掩模层接触该些接垫。

6.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，其中该图案化的硬掩模层的材料包括金属氧化物。

7.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，其中该图案化的硬掩模层覆盖该些岛状部的侧壁。

8.一种可拉伸显示面板的制造方法，包括：

形成图案化绝缘结构于基板上，其中该图案化绝缘结构包括多个岛状部以及多个桥接部，且相邻的该些岛状部经由对应的该些桥接部而相连；

形成硬掩模层于该图案化绝缘结构以及该基板上；

以去光致抗蚀剂液清洗该硬掩模层的表面；

形成图案化的光致抗蚀剂于该硬掩模层的表面；

以该图案化的光致抗蚀剂为掩模图案化该硬掩模层，以形成图案化的硬掩模层；以及

以该图案化的硬掩模层为掩模图案化该基板，以形成可拉伸膜。

9.如权利要求8所述的可拉伸显示面板的制造方法，其中该去光致抗蚀剂液包括单乙醇胺以及二甲基亚砜的组合。

10.如权利要求8所述的可拉伸显示面板的制造方法，其中以该图案化的光致抗蚀剂为掩模图案化该硬掩模层的方法包括湿蚀刻，且以该图案化的硬掩模层为掩模图案化该基板的方法包括干蚀刻。