[发明专利]一种涂层制备装置

权利要求书

1.一种涂层制备装置，其特征在于，包括：

公转组件，所述公转组件包括公转驱动器、公转驱动轴和公转盘，所述公转驱动器的输出端与所述公转驱动轴传动相连，所述公转盘与所述公转驱动轴相连；

自转组件，所述自转组件包括自转驱动器和自转驱动轴，所述自转驱动器的输出端与所述自转驱动轴传动相连；

工位组件，所述工位组件包括工位驱动轴、工位旋转轴和夹具，所述自转驱动轴与所述工位驱动轴传动相连，所述工位驱动轴可转动地与所述公转盘相连，所述工位驱动轴的轴线平行于所述公转驱动轴的轴线且二者之间具有间隙，所述工位驱动轴与所述工位旋转轴传动相连，所述夹具能够夹持待喷涂的叶片，所述夹具与所述工位旋转轴相连；所述夹具以及所述叶片均位于真空室内，所述真空室内设置喷枪；所述工位组件的数量至少为一组。

2.根据权利要求1所述的涂层制备装置，其特征在于：沿所述工位驱动轴到所述夹具的方向，所述工位旋转轴朝向靠近所述公转驱动轴的方向倾斜设置。

3.根据权利要求2所述的涂层制备装置，其特征在于：所述工位驱动轴利用万向联轴器与所述工位旋转轴相连。

4.根据权利要求1所述的涂层制备装置，其特征在于：所述公转组件还包括旋转工作台，所述旋转工作台与所述公转驱动轴相连，所述工位旋转轴可转动地穿过所述旋转工作台后与所述夹具相连。

5.根据权利要求1所述的涂层制备装置，其特征在于：所述工位组件的数量为多组，多组所述工位组件绕所述公转驱动轴的轴线周向均布。

6.根据权利要求5所述的涂层制备装置，其特征在于：所述自转驱动轴为空心结构，所述自转驱动轴可转动地套装于所述公转驱动轴的外部，所述自转驱动轴与所述公转驱动轴之间设置轴承；

所述真空室连接有底座，所述自转驱动轴可转动地穿过所述底座后与所述工位驱动轴传动相连，所述底座与所述自转驱动轴之间设置密封元件。

7.根据权利要求1所述的涂层制备装置，其特征在于：所述公转组件还包括公转支架，所述公转支架与所述真空室的外壁相连，所述公转驱动器固定于所述公转支架上，所述公转驱动器的输出端连接有公转驱动齿轮，所述公转驱动轴连接有公转中心齿轮，所述公转驱动齿轮与所述公转中心齿轮相啮合；

所述自转组件还包括自转支架，所述自转支架与所述真空室的外壁相连，所述自转驱动器固定于所述自转支架上，所述自转驱动器的输出端连接有自转驱动齿轮，所述自转驱动轴连接有第一自转中心齿轮和第二自转中心齿轮，所述自转驱动齿轮与所述第一自转中心齿轮相啮合；

所述工位组件还包括工位齿轮，所述工位齿轮与所述工位驱动轴相连，所述工位齿轮与所述第二自转中心齿轮相啮合。

8.根据权利要求1-7任一项所述的涂层制备装置，其特征在于：还包括导气组件，所述导气组件包括进气管和输气管，所述公转驱动轴以及所述工位旋转轴均为中空结构，所述进气管能够与外部气源相连通，所述外部气源能够向所述进气管输送保护气体，所述进气管与所述公转驱动轴的内腔相连通，所述公转驱动轴的内腔利用所述输气管与所述工位旋转轴的内腔相连通，所述夹具具有出气孔，所述出气孔能够与所述叶片的气膜孔相连通。

9.根据权利要求8所述的涂层制备装置，其特征在于：所述公转盘连接有储气罩，所述储气罩与所述公转盘围成储气腔体，所述公转驱动轴的内腔以及所述输气管均与所述储气腔体相连通。

10.根据权利要求8所述的涂层制备装置，其特征在于：所述公转驱动轴与所述进气管之间设置气滑环。