[发明专利]一种多点测量的软材料压痕装置、系统及测试方法

权利要求书

1.一种多点测量的软材料压痕装置，其特征在于，包括并联式支撑杆、拉压力传感器、探针和压头，所述并联式支撑杆包括支撑板、横杆和多个支撑杆，所述横杆设置在支撑板的前端，多个所述支撑杆并联式设置在所述横杆的前端，每个支撑杆上均安装有拉压力传感器，所述探针安装于拉压力传感器上，所述压头设于探针的下端。

2.根据权利要求1所述的多点测量的软材料压痕装置，其特征在于，每个所述支撑杆上可拆卸式安装有拉压力传感器。

3.根据权利要求1所述的多点测量的软材料压痕装置，其特征在于，每个所述拉压力传感器与支撑杆之间设有弹簧。

4.一种多点测量的软材料压痕系统，其特征在于，包括电控平移台、权利要求1-3任意一项所述的多点测量的软材料压痕装置、多孔位辅助支撑夹具和光学平台，所述电控平移台包括X轴平移台、Y轴平移台和Z轴平移台，所述X轴平移台可拆卸式安装在光学平台上，所述Y轴平移台设于X轴平移台上，所述多孔位辅助支撑夹具设于Y轴平移台上，所述Z轴平移台垂直设于光学平台上，所述多点测量的软材料压痕装置设于所述Z轴平移台上。

5.根据权利要求4所述的多点测量的软材料压痕系统，其特征在于，所述多孔位辅助支撑夹具包括辅助支撑板，设于辅助支撑板一面的多个固定孔，以及设于辅助支撑板另一面的凸台，所述凸台可拆卸式安装于Y轴平移台上。

6.根据权利要求4所述的多点测量的软材料压痕系统，其特征在于，还包括与所述电控平移台连接的PLC控制电路。

7.根据权利要求4-6任意一项所述多点测量的软材料压痕系统的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将样品置于所述多孔位辅助支撑夹具上；

S2、控制X轴平移台和Y轴平移台移动将样品移动至设定的第一位置；

S3、控制Z轴平移台移动将压痕装置与样品接触，通过压痕装置的弹簧确保与所有样品同时接触，按照所允许的最大下移距离下移，拉压力传感器采集第一组数据，再控制Z轴平移台上移使探针回升；

S4、重复执行步骤S2-S3直至完成n个位置的数据采集，形成第二至第n组数据；

S5、将第一至第n组数据传输至终端。