[发明专利]一种无醇型单晶硅快速制绒添加剂、及包含其的制绒液、其制备方法及用途

权利要求书

1.一种无醇型单晶硅快速制绒添加剂，其特征在于，包括重量配比如下的各组分：

2.根据权利要求1所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂，其特征在于，所述缓蚀剂为盐酸多巴胺。

3.根据权利要求1所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂，其特征在于，所述表面活性剂选自异辛醇聚氧乙烯醚单磷酸酯、月桂酸甲酯乙氧基化物、硬脂酸甲酯乙氧基化物、油酸甲酯乙氧基化物、椰油酸甲酯乙氧基化物、月桂醇聚氧乙烯醚和鲸蜡醇聚氧乙烯醚中的一种或几种的混合。

4.根据权利要求1所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂，其特征在于，所述小分子糖醇选自赤藓糖醇、木糖醇、甘露醇、山梨醇、麦芽糖醇和乳糖醇中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂，其特征在于，所述无机碱溶液选自NaOH溶液和/或KOH溶液。

6.一种权利要求1-5任意一项所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂的制备方法，包括如下步骤：

步骤一：按照重量配比分别称取所各组分；

步骤二：室温条件下，首先将除去离子水外的所有组分加到占总量1/3-1/2的去离子水中，磁力搅拌至全部原料完全溶解，再加入余下部分去离子水，继续搅拌1-2h，即得到无醇型单晶硅快速制绒添加剂。

7.一种权利要求1-5任意一项所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂在单晶硅蚀刻制绒领域的用途。

8.一种制绒液，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂、碱溶液和去离子水。

9.一种权利要求8所述制绒液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：称取无醇型单晶硅快速制绒添加剂和无机碱溶液，加入到80-85℃的去离子水中搅拌混合均匀制备得到单晶硅蚀刻制绒液。

10.一种权利要求8所述制绒液在单晶硅蚀刻制绒领域的用途。