[发明专利]温度确定装置、温度确定方法以及微机电系统振荡器在审
| 申请号： | 202310240667.8 | 申请日： | 2023-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN116429289A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;黄寿;舒俊;黎兴荣;李明;王冬春;李泽;高凯渊 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00;G01K7/34 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 张祺浩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温度 确定 装置 方法 以及 微机 系统 振荡器 | ||
1.一种温度确定装置，该温度确定装置应用于微机电系统振荡器，其特征在于，所述温度确定装置包括：
第一电容器，用于输出第一电容值；
第二电容器，用于输出第二电容值；
耦合单元，分别与所述第一电容器和所述第二电容器电连接，用于将所述第一电容值和所述第二电容值耦合，得到对应的耦合值，其中，所述耦合值与所述微机电系统振荡器的温度成比例；
温度确定单元，与所述耦合单元电连接，用于利用所述耦合值确定所述微机电系统振荡器的温度。
2.根据权利要求1所述的温度确定装置，其特征在于，所述耦合单元用于利用所述第二电容值减去所述第一电容值，得到对应的耦合值。
3.根据权利要求1所述的温度确定装置，其特征在于，所述耦合单元用于利用所述第二电容值与所述第一电容值之间的比值作为所述耦合值。
4.根据权利要求1所述的温度确定装置，其特征在于，所述耦合单元用于确定所述第二电容值与所述第一电容值的电容和，并利用所述第二电容值与所述电容和之间的比值作为所述耦合值。
5.根据权利要求1所述的温度确定装置，其特征在于，所述第一电容器和所述第二电容器为MEMS电容器。
6.根据权利要求5所述的温度确定装置，其特征在于，所述第一电容器的所述第一电容值与温度负相关，所述第二电容器的所述第二电容值与温度正相关。
7.一种微机电系统振荡器，其特征在于，所述微机电系统振荡器包括：
MEMS裸片；
CMOS裸片，与所述MEMS裸片电耦合；
其中，所述微机电系统振荡器中设置有如权利要求1-6任一项所述的温度确定装置。
8.根据权利要求7所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述第一电容器和所述第二电容器共同设置于所述MEMS裸片或所述CMOS裸片；
或者，所述第一电容器和所述第二电容器中的一者设置于所述MEMS裸片，另一者设置于所述CMOS裸片。
9.根据权利要求7所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述耦合单元和所述温度确定单元设置于所述CMOS裸片。
10.一种温度确定方法，该温度确定方法应用于微机电系统振荡器，其特征在于，所述温度确定方法包括：
获取第一电容器的第一电容值；
获取第二电容器的第二电容值；
将所述第一电容值和所述第二电容值耦合，得到对应的耦合值，其中，所述耦合值与所述微机电系统振荡器的温度成比例；
利用所述耦合值确定所述微机电系统振荡器的温度。
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