[发明专利]一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置

说明书

本发明涉及单晶炉硅料复投技术领域，具体公开了一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置，包括底座，所述底座上侧固定连接有加热底盘，所述加热底盘上侧设有炉主壳，所述加热底盘上侧中部放置有石英坩埚，所述石英坩埚位于炉主壳内，所述炉主壳外壁固定连接有复投箱，所述复投箱下端固定连通有输送管。本发明中设置的漏斗式挡板可与石英坩埚的上端口对接，对接口的漏斗式挡板可放置飘散的粉料降尘至石英坩埚外，从而避免了粉料的浪费且避免了后期的清理工作，同时本发明还能够将漏斗式挡板向上滑动一段距离，使漏斗式挡板与石英坩埚分离，从而避免石英坩埚上的热量通过漏斗式挡板传导至炉主壳上，进而避免了热量的流逝。

技术领域

本发明涉及单晶炉硅料复投技术领域，具体为一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置。

背景技术

单晶硅用途广泛且制备成本高，其中利用坩埚直拉法制备CZ硅是应用最广泛的制备方法之一。用于制备单晶硅的石英坩埚是一次性消耗品。由于颗粒状的原料存在间隙，石英坩埚内的原料熔化后，石英坩埚会多出至少三分之一的容积，为了避免了浪费，需要复投装置向坩埚内补充原料，并再次融化，直至融化物近乎填满坩埚，从而提高坩埚内空间的利用率。

目前在制备单晶硅的过程中，为了降低复投次数，原料大多采用粒径较小的粉状颗粒，但是，在向坩埚复投粉料时，会有部分粉料在投料的冲击力下向四周飘散，飘散的粉料部分会降尘至坩埚外的加热炉底部，这样不仅造成材料的浪费，还需要后期对加热炉进行清理工作。

基于此，本发明设计了一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置，包括底座，所述底座上侧固定连接有加热底盘，所述加热底盘上侧设有炉主壳，所述加热底盘上侧中部放置有石英坩埚，所述石英坩埚位于炉主壳内，所述炉主壳外壁固定连接有复投箱，所述复投箱下端固定连通有输送管，所述输送管远离复投箱的一端延伸至炉主壳内且位于石英坩埚上方，所述输送管内转动连接有中空绞龙，所述中空绞龙内套设有传动轴，所述中空绞龙与传动轴之间设有第一单向轴承，所述输送管靠近复投箱的一端固定连接有电机，所述电机的输出端与传动轴的一端固定连接，所述传动轴远离电机的一端能够延伸至炉主壳内，所述炉主壳内壁在输送管与石英坩埚之间滑动连接有漏斗式挡板，所述漏斗式挡板与传动轴之间设有升降调节机构，所述传动轴能够通过升降调节机构带动漏斗式挡板沿着炉主壳内壁进行上下滑动。

作为本发明的进一步方案，所述升降调节机构包括套壳，所述套壳与炉主壳内壁固定连接，所述套壳内转动连接有竖立的往复丝杆，所述往复丝杆螺纹连接有移动基座，所述移动基座与套壳内壁滑动连接，所述移动基座固定连接有第一连接架，所述第一连接架能够延伸至套壳外且与漏斗式挡板固定连接，所述往复丝杆的转动轴延伸至套壳外且与传动轴之间设有单向传动机构，所述传动轴能够通过单向传动机构带动往复丝杆转动。

作为本发明的进一步方案，所述单向传动机构包括第二单向轴承，所述第二单向轴承的内圈与传动轴远离电机的一端固定连接，所述第二单向轴承的外圈固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与往复丝杆的转动轴固定连接。

作为本发明的进一步方案，所述输送管在上下方向上滑动连接有第二连接架，所述第二连接架位于炉主壳内，所述第二连接架在输送管与石英坩埚之间固定连接有环形挡板，所述环形挡板外径小于漏斗式挡板最小内径，所述环形挡板内侧固定连接有锥形筛板，所述锥形筛板的尖端与输送管的排料口对齐，所述第二连接架与传动轴之间设有上下振动机构，所述传动轴能够通过上下振动机构带动环形挡板和锥形筛板进行上下往复振动。