[发明专利]一种拾取石墨电极组的方法在审
申请号: | 202310241906.1 | 申请日: | 2023-03-14 |
公开(公告)号: | CN116281840A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 段俊熙;冯启;彭慧民;钟锦锐;胡虞卿;李秋利 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;C01B32/21 |
代理公司: | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人: | 周蜜 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拾取 石墨电极 方法 | ||
1.一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:所述方法步骤如下:
(1)将由衬底和附着在衬底上的石墨电极组组成的样品A在230℃~290℃且真空度小于等于10-5Pa的条件下退火处理10h~14h;所述石墨电极组由两个以上的石墨电极排列组成;
(2)当用转移部件直接拾取时,将退火后的样品A在由乙醇和水按1:(2.7~3.3)的体积比组成的混合溶液A中密封浸泡14h~18h;
当用于拾取的转移部件中的h-BN上已经附着两层以上的二维材料时,将退火后的样品A在由乙醇、氨水和水按1:(0.6~1):(2.7~3.3)的体积比组成的混合溶液B中密封浸泡14h~18h;所述氨水中,氨的质量分数为5%;
所述转移部件由载玻片往上依次为PDMS弹性体、PC膜和h-BN,所述PC膜能完全覆盖住PDMS弹性体,且其四周均与载玻片粘接;
(3)吹干浸泡后的样品A,用转移部件中的h-BN或转移部件上附有二维材料的一面,在80℃~95℃与样品A中的石墨电极组完全接触,然后降温,直至拾取的石墨电极完全离开衬底,完成对石墨电极组的拾取。
2.根据权利要求1所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(1)中,将样品A在260℃且真空度为10-5Pa的条件下退火处理12h。
3.根据权利要求2所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(2)中,当用转移部件直接拾取时,将退火后的样品A在由乙醇和水按1:3的体积比组成的混合溶液A中密封浸泡16h;
当用于拾取的转移部件中的h-BN上已经附着有两层以上的二维材料时,将退火后的样品A在由乙醇、氨水和水按照1:0.8:3的体积比组成的混合溶液B中密封浸泡16h。
4.根据权利要求3所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(3)中,用转移部件中的h-BN或转移部件上含有二维材料的一面,在90℃与样品A中的石墨电极组完全接触。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:所述衬底为氧化硅片。
6.根据权利要求5所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(3)中,用高纯氮气吹干浸泡后的样品A,所述高纯氮气的纯度为99.999%以上。
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