[发明专利]一种拾取石墨电极组的方法在审

专利信息
申请号: 202310241906.1 申请日: 2023-03-14
公开(公告)号: CN116281840A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 段俊熙;冯启;彭慧民;钟锦锐;胡虞卿;李秋利 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;C01B32/21
代理公司: 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 代理人: 周蜜
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 拾取 石墨电极 方法
【权利要求书】:

1.一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:所述方法步骤如下:

(1)将由衬底和附着在衬底上的石墨电极组组成的样品A在230℃~290℃且真空度小于等于10-5Pa的条件下退火处理10h~14h;所述石墨电极组由两个以上的石墨电极排列组成;

(2)当用转移部件直接拾取时,将退火后的样品A在由乙醇和水按1:(2.7~3.3)的体积比组成的混合溶液A中密封浸泡14h~18h;

当用于拾取的转移部件中的h-BN上已经附着两层以上的二维材料时,将退火后的样品A在由乙醇、氨水和水按1:(0.6~1):(2.7~3.3)的体积比组成的混合溶液B中密封浸泡14h~18h;所述氨水中,氨的质量分数为5%;

所述转移部件由载玻片往上依次为PDMS弹性体、PC膜和h-BN,所述PC膜能完全覆盖住PDMS弹性体,且其四周均与载玻片粘接;

(3)吹干浸泡后的样品A,用转移部件中的h-BN或转移部件上附有二维材料的一面,在80℃~95℃与样品A中的石墨电极组完全接触,然后降温,直至拾取的石墨电极完全离开衬底,完成对石墨电极组的拾取。

2.根据权利要求1所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(1)中,将样品A在260℃且真空度为10-5Pa的条件下退火处理12h。

3.根据权利要求2所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(2)中,当用转移部件直接拾取时,将退火后的样品A在由乙醇和水按1:3的体积比组成的混合溶液A中密封浸泡16h;

当用于拾取的转移部件中的h-BN上已经附着有两层以上的二维材料时,将退火后的样品A在由乙醇、氨水和水按照1:0.8:3的体积比组成的混合溶液B中密封浸泡16h。

4.根据权利要求3所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(3)中,用转移部件中的h-BN或转移部件上含有二维材料的一面,在90℃与样品A中的石墨电极组完全接触。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:所述衬底为氧化硅片。

6.根据权利要求5所述的一种拾取石墨电极组的方法,其特征在于:步骤(3)中,用高纯氮气吹干浸泡后的样品A,所述高纯氮气的纯度为99.999%以上。

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