[发明专利]蚀刻液组合物、制备方法及蚀刻方法

权利要求书

1.一种蚀刻液组合物，其特征在于，所述蚀刻液组合物包括基液A和浓缩液B，所述基液A的制备原料按质量百分比计，包括：过氧化氢1％-15％、无机酸5％-25％、稳定剂0.005％-5％和余量水，所述浓缩液B由缓蚀剂、络合剂和表面活性剂以质量比20-35：30-42：30-42混合制成，并且所述浓缩液B在所述蚀刻液组合物中的添加质量浓度为0.001％-10％。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述浓缩液B通过以下方法制备得到：通氮气的环境下，将所述缓蚀剂溶于溶剂中充分搅拌溶解0.5-1h，转速为800-900cps，完全溶解之后分批加入所述络合剂，待混合溶液完全透明，加入所述表面活性剂，转速调至300-400cps，搅拌0.5-1h，温度升至60-85℃，搅拌2-4h蒸发掉残留的溶剂，冷却至室温即得。

3.根据权利要求2所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述缓蚀剂包括聚乙二醇-400、聚乙二醇-6000、聚乙二醇-10000、乙醇胺、三乙醇胺、甲基咪唑、2-甲基咪唑、苯并三氮唑、2-氨基咪唑、4-氨基咪唑、5-苯基四氮唑、1H-四氮唑、5-巯基-1-苯基-四氮唑和N-乙烯基咪唑中的至少一种。

4.根据权利要求2所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述络合剂包括酒石酸、柠檬酸钠、乙二胺四乙酸二钠、亚氨基二琥珀酸四钠、琥珀酸二钠、乙二胺四甲叉磷酸五钠盐、乙二胺四亚甲基膦酸钠和N,N,N'N'-四(2-羟丙基)乙二胺中的至少一种。

5.根据权利要求2所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述表面活性剂包括十二烷基苯磺酸钠、烷基萘磺酸钠、月桂剂磺化琥珀酸单酯二钠、十碳醇聚氧乙烯醚、十三碳异构醇醚和蓖麻油聚氧乙烯醚系列中的至少一种。

6.根据权利要求2所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述溶剂包括乙醇、甲醇、异丙醇、乙酸乙酯和丙酮中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述浓缩液B在所述蚀刻液组合物中的添加量为0.2％-10％，优选为0.5％-8％，更优选为0.8％-6％；

优选地，每100克浓缩液B中缓蚀剂：络合剂：表面活性剂质量比为28:36:36，其中，所述缓蚀剂选自5-巯基-1-苯基-四氮唑；所述络合剂选自乙二胺四乙酸二钠；所述表面活性剂选自十碳醇聚氧乙烯醚。

8.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述无机酸包括甲酸、乙酸、柠檬酸、甲基磺酸、次氯酸碳酸、磷酸、硫酸、盐酸、硝酸和硼酸中的至少一种，所述稳定剂包括羟基乙叉二膦酸、苯基羰酰二胺、对氨基苯基羰酰二胺、聚丙烯酸胺、对羟基苯磺酸钠、对氨基苯基羰酰二胺、对羟基苯磺酸和吡啶二羧酸中的至少一种。

9.一种根据权利要求1-8中任一项所述的蚀刻液组合物的制备方法，其特征在于，其包括：将过氧化氢、无机酸、稳定剂和水混合制得基液A，然后将所述基液A与所述浓缩液B混合，制得所述蚀刻液组合物。

10.一种蚀刻方法，其特征在于，包含：使含铜金属层与权利要求1-8中任一项所述的所述蚀刻液组合物接触。