[发明专利]一种外延用反射镜水冷装置在审
申请号: | 202310247146.5 | 申请日: | 2023-03-15 |
公开(公告)号: | CN116123913A | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 郑锦;姚铖;陶佳月 | 申请(专利权)人: | 南京原磊纳米材料有限公司 |
主分类号: | F28D21/00 | 分类号: | F28D21/00;H01L21/67;C30B23/02;C30B25/02;C30B28/12;F28F27/00 |
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地址: | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 反射 水冷 装置 | ||
1.一种外延用反射镜水冷装置,其特征在于,包括水冷板和进出水调节机构,所述水冷板包括水槽板和盖板,所述盖板固连于所述水槽板顶部,所述水槽板与所述盖板之间设置有冷却密封空间,所述水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安装部,所述冷却密封空间内设置有第二安装结构组件和通风组件,所述第二安装结构组件、所述通风组件和若干所述第一安装部之间形成水路通道,所述进出水调节机构固连于所述盖板的顶部,所述进出水调节机构与所述水路通道连通,所述水槽板的底部固连有反射镜体。
2.根据权利要求1所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述第二安装结构组件包括开口环部,所述开口环部的两侧对称设置有第二安装部组,所述第二安装部组包括若干第二安装部,若干所述第二安装部内外交错设置于所述开口环部上,所述第一安装部设置于所述开口环部外侧的两个第二安装部之间,所述盖板上开设有与所述第二安装部对应设置的第二安装口,所述第二安装口位于第二安装部的内壁和外壁之间,所述盖板上开设有与所述第一安装部对应设置的第一安装口,所述第一安装口位于第一安装部的内壁和外壁之间。
3.根据权利要求2所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述第一安装部内设置有第一灯夹头,所述第一灯夹头的表面镀有第一镀金层,所述第一镀金层与所述第一安装部的内表面贴合,所述第二安装部内设置有第二灯夹头,所述第二灯夹头的表面镀有第二镀金层,所述第二镀金层与所述第二安装部的内表面贴合。
4.根据权利要求2所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述通风组件包括通风口部和导向部,所述通风口部位于所述开口环部的中部,所述导向部的一端与通风口部固连,所述导向部的另一端与位于所述开口环部开口处的第一安装部固连,所述盖板上开设有与所述通风口部对应设置的通风孔,所述通风孔位于通风口部的内壁和外壁之间,所述盖板上开设有与所述导向部对应设置的导向缺口,所述导向缺口与所述通风孔连通,且所述导向缺口位于导向部两侧的外壁之间。
5.根据权利要求1所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述进出水调节机构包括进出水转接块,所述进出水转接块内开设有第一进水通道、第二进水通道和调节通道,所述第一进水通道设置有第一折弯部和第二折弯部,所述第二进水通道的一端与所述第一折弯部连通,另一端与所述调节通道连通,所述调节通道远离第二进水通道一端与所述第二折弯部连通,所述调节通道内设置有调节组件,所述调节组件包括柔性套、弹簧以及推杆,所述柔性套的外壁与所述调节通道的内壁相抵,所述弹簧与所述柔性套的内壁一体设置,所述柔性套靠近第二折弯部一端设置有开口,所述推杆的一端穿过所述开口与所述柔性套靠近第二进水通道一端的内壁以及弹簧一体设置,所述调节通道靠近第二折弯部一端开设有卡槽,所述卡槽内卡设有限位板,所述推杆靠近第二折弯部一端向外延伸有限位凸起,弹簧自由状态下,所述限位凸起与所述限位板相抵。
6.根据权利要求5所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述限位板位于限位凸起和柔性套之间,所述限位板和柔性套之间设置有第一密封圈,所述柔性套靠近第二进水通道一端设置有卡环,所述卡环的外侧套设有第二密封圈。
7.根据权利要求5所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述推杆靠近第一进水通道一端向外延伸有调节凸起,所述调节凸起的外壁与所述调节通道的内壁贴合。
8.根据权利要求5所述的外延用反射镜水冷装置,其特征在于,所述进出水调节机构还包括进水管、出水管以及外设水冷机,所述进出水转接块内还开设有出水通道,所述第一进水通道的进水口通过软管接头与进水管连接,所述第一进水通道的出水口与所述水路通道连通,所述进水管远离第一进水通道一端与外设水冷机连接,所述出水通道的进水口与所述水路通道连通,所述出水通道的出水口通过软管接头与所述出水管连接,所述出水管远离出水通道一端与所述外设水冷机连接。
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