[发明专利]一种搬舟X轴滑板机构在审
申请号: | 202310247949.0 | 申请日: | 2023-03-07 |
公开(公告)号: | CN116313960A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 甘新荣;朱太荣;庞爱锁;林佳继 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 华锦峰 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 滑板 机构 | ||
本发明公开了一种搬舟X轴滑板机构,其包括:滑板基座,设置在搬舟X轴滑板机构的底部;齿条单元设置在滑板基座上,齿条单元用于驱动搬舟X轴滑板机构水平移动;搬舟夹爪单元,用于抓持舟/舟托并带动舟/舟托移动;夹爪驱动单元设置在滑板基座上,且夹爪驱动单元与搬舟夹爪连接,夹爪驱动单元用于采用钢丝驱动搬舟夹爪单元;固定单元设置在滑板基座上,固定单元用于连接其他机构。本发明中的夹爪驱动单元采用钢丝绳来传递驱动力,使夹爪驱动单元能够为搬舟夹爪单元提供稳定的驱动力,夹爪驱动单元可以稳定的抓持和移动舟/舟托,从而使硅片的加工工艺不会受到影响,保证硅片的加工质量。
技术领域
本发明涉及太阳能电池制备技术领域,特别是涉及一种搬舟X轴滑板机构。
背景技术
在半导体和太阳能电池的制造过程中,需要搬舟机构从桨上工位、流线工位、舟缓存工位来转运舟。在现有技术中,搬舟X轴滑板机构采用钢带传送,在传送过程中容易出现形变产生翻边卷刃的情况,从而影响机构的寿命,且不易维修,且钢带在运动过程中由于滑动摩擦接触面大,会产生大量的粉末,会对硅片造成污染,影响硅片的加工工艺。
发明内容
本申请的一些实施例中,提供了一种搬舟X轴滑板机构,本申请为了解决了现有的搬舟滑板机构在传送过程中采用钢带传动容易出现形变产生翻边卷刃的情况,从而影响机构的寿命的问题。
本申请的一些实施例中,提供了一种搬舟X轴滑板机构,包括:
滑板基座,设置在所述搬舟X轴滑板机构的底部;
齿条单元,设置在所述滑板基座上,所述齿条单元用于驱动所述搬舟X轴滑板机构水平移动;
搬舟夹爪单元,用于抓持舟/舟托并带动舟/舟托移动;
夹爪驱动单元,设置在所述滑板基座上,且所述夹爪驱动单元与所述搬舟夹爪连接,所述夹爪驱动单元用于采用钢丝驱动所述搬舟夹爪单元;
固定单元,设置在所述滑板基座上,所述固定单元用于连接其他机构。
进一步的,所述夹爪驱动单元包括:
钢丝绳;
搬舟X轴钢丝滚轮单元,设置有四个,分别设置在所述滑板基座的四个顶角处,所述搬舟X轴钢丝滚轮单元用于引导所述钢丝绳的移动;
所述搬舟X轴钢丝滚轮单元包括:
第一滚轮,设置在所述滑板基座上一端短边的左角处;
第二滚轮,设置在所述滑板基座上一端短边的右角处;
第三滚轮,设置在所述滑板基座上另一端短边的右角处;
第四滚轮,设置在所述滑板基座上另一端短边的左角处;
所述钢丝绳沿所述第一滚轮、第二滚轮、第三滚轮和第四滚轮环绕一圈设置,所述钢丝绳用于驱动所述搬舟夹爪单元进行移动。
进一步的,所述夹爪驱动单元还包括:
搬舟X轴张紧皮带轮座,设置在所述滑板基座上的一端上;
搬舟X轴钢丝张紧轮,设置在所述搬舟X轴张紧皮带轮座上,并位于所述第一滚轮和第二滚轮之间,所述搬舟X轴钢丝张紧轮用于张紧钢丝绳。
进一步的,所述夹爪驱动单元还包括:
搬舟X轴张紧调整装置,设置在所述滑板基座上的一端上,所述搬舟X轴张紧调整装置用于调整所述第一滚轮、第二滚轮、第三滚轮和第四滚轮的位置。
进一步的,所述搬舟夹爪单元包括:
夹爪滑轨,设置在所述滑板基座上,并位于所述齿条单元的一侧;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造