[发明专利]一种基于声流控的微粒细胞连续分离装置及其制备方法

权利要求书

1.一种基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，包括：基底和微流道层；

所述微流道层设有鞘液流道和溶液流道，所述鞘液流道设有第一鞘液入口、第二鞘液入口和第三鞘液入口，所述溶液流道设有溶液入口、第一溶液出口和第二溶液出口，所述第一鞘液入口、所述第二鞘液入口与所述第一溶液出口之间设有第一液体汇集口，所述第三鞘液入口和所述第二溶液出口之间设有第二液体汇集口；

所述基底上于所述第一液体汇集口处设有第一声表面波谐振器件，用于生物微粒溶液的初分选，所述基底上于所述第二液体汇集口处设有第二声表面波谐振器件，用于生物微粒溶液的精分选。

2.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述第一声表面波谐振器件与所述第二声表面波谐振器件平行设置，且与所述微流道层中液体主流道的方向呈一定倾斜角度。

3.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述第一声表面波谐振器件的叉指宽度与指间宽度相等，为40～60μm，倾斜角度为5～20°，叉指对数为8～12对，反射栅为2～6对。

4.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述第二声表面波谐振器件的叉指宽度为10～30μm，倾斜角度为5～20°，叉指对数为16～24对，反射栅为12～18对。

5.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述溶液入口位于所述第一鞘液入口与所述第二鞘液入口的中间位置，所述溶液入口、所述第一鞘液入口与所述第二鞘液入口位于所述第一声表面波谐振器件的上游端，所述第一溶液出口位于所述第一声表面波谐振器件的下游端。

6.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述第三鞘液入口位于所述第二声表面波谐振器件的上游端，所述第二溶液出口位于所述第二声表面波谐振器件的下游端。

7.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述微流道层还设有溶液杂质出口；

所述溶液杂质出口位于所述第二声表面波谐振器件的下游端，且与所述第二液体汇集口相连通，所述溶液杂质出口的流通方向与所述微流道层中液体主流道的方向相平行。

8.如权利要求1所述的基于声流控的微粒细胞连续分离装置，其特征在于，所述第三鞘液入口、所述第一溶液出口和所述第二溶液出口均位于所述微流道层中液体主流道的同一侧。

9.如权利要求1～8任一项所述基于声流控的微粒细胞连续分离装置的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将基底材料进行表面等离子体活化后溅射金属层，在所述金属层上分别进行光刻刻蚀形成叉指结构得到设有所述第一声表面波谐振器件和所述第二声表面波谐振器件的所述基底；

在模具上光刻形成微流道结构，将一定配比硅胶材料加入至具有微流道结构的模具中进行固化得到所述微流道层；

将所述基底与所述微流道层进行对准键合得到所述基于声流控的微粒细胞连续分离装置。

10.如权利要求9所述基于声流控的微粒细胞连续分离装置的制备方法，其特征在于，在所述金属层上分别进行光刻刻蚀形成叉指结构具体为：

将所述基底材料的金属层进行超声清洗后在六甲基二硅氮烷作用下进行预处理；

旋涂光刻胶，依次进行前烘、曝光、显影、镜检、打胶和后烘处理形成结构化图形；

对结构化图形进行离子束刻蚀形成叉指结构。