[发明专利]一种调整PVD磁控管旋转半径和平面靶电源功率的设备及方法

权利要求书

1.一种调整PVD磁控管旋转半径和平面靶电源功率的设备，用于在基片上形成薄膜，其特征在于，包括：

磁控管旋转组件，包括磁控管、磁控管支架、磁控管导轨和磁控管滑块，所述磁控管通过所述磁控管导轨和所述磁控管滑块滑动连接于所述磁控管支架，其中，所述磁控管在水平面上的投影面积小于所述平面靶在水平面上的投影面积；

驱动机构，包括第一动力部件与第二动力部件，所述第一动力部件用于驱动所述磁控管支架绕第一轴线转动，以使所述磁控管沿圆周轨迹转动，所述第二动力部件用于驱动所述磁控管相对所述磁控管支架沿所述圆周轨迹的径向移动，以调整所述圆周轨迹的旋转半径；

控制器，被配置为执行以下控制中的至少一种：

控制所述第二动力部件驱动所述磁控管进行径向移动，以使所述薄膜的厚度在设定的厚度范围内；

控制向平面靶施加的电源功率，以使所述薄膜的电阻率在设定的电阻率范围内。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述驱动机构还包括第一连杆与第二连杆，所述第一连杆的两端分别转动连接于所述第二连杆和所述磁控管滑块，所述第二连杆能够绕第二轴线转动，从而通过所述第一连杆带动所述磁控管径向移动以调整所述圆周轨迹的旋转半径，其中，所述第一轴线与所述第二轴线平行设置。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述驱动机构还包括第一轴与第二轴，所述第一轴分别连接于所述第一动力部件的动力输出端与所述磁控管支架，所述第二轴分别连接于所述第二动力部件的动力输出端与所述第二连杆；

其中，所述第一轴和所述第二轴设置为同轴结构，所述第一轴线与所述第二轴线重合，所述第一动力部件能够驱动所述第一轴转动，以使所述磁控管沿所述圆周轨迹旋转，所述第二动力部件能够驱动所述第二轴转动，以调节所述磁控管的旋转半径。

4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述驱动机构还包括第一销轴，所述磁控管滑块和所述第一连杆通过所述第一销轴转动连接。

5.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述驱动机构还包括第二销轴，所述第一连杆和所述第二连杆通过所述第二销轴转动连接；

其中，所述磁控管支架具有第一弧形槽，所述第二销轴的一端凸出于所述第一连杆的表面，并位于所述第一弧形槽中，所述第一弧形槽能够对所述第二销轴导向。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括配重旋转组件，所述配重旋转组件包括配重块、配重支架、配重导轨和配重滑块，所述配重块通过所述配重导轨和所述配重滑块滑动连接于所述配重支架；

所述第一动力部件用于驱动所述配重支架绕所述第一轴线转动，以使所述配重块沿所述圆周轨迹转动，所述第二动力部件用于驱动所述配重块相对所述配重支架沿所述圆周轨迹的径向移动；

其中，所述配重块与所述磁控管同步移动，且移动方向相反，以使所述配重块与所述磁控管对称设置。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述驱动机构还包括第一连杆与第二连杆，所述第一连杆的两端分别转动连接于所述第二连杆和所述磁控管滑块，所述第二连杆能够绕第二轴线转动，从而通过所述第一连杆带动所述磁控管径向移动以调整所述圆周轨迹的旋转半径；

所述驱动机构还包括第三连杆与第四连杆，所述第三连杆的两端分别转动连接于所述第四连杆和所述配重滑块，所述第四连杆和所述第二连杆能够绕第二轴线同步转动，从而通过所述第三连杆带动所述配重块径向移动以调整所述圆周轨迹的旋转半径。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括调节组件，所述调节组件用于调节所述平面靶的背板与所述磁控管之间的间距。