[发明专利]一种器件芯片中凹槽及间隙的加工方法

说明书

本发明涉及微观机械系统的技术领域，公开了一种器件芯片，其包括基衬底、盖衬底以及器件层，其中，盖衬底与基衬底间隔设置，器件层设置在基衬底和盖衬底之间；器件层包括电极、连接部以及致动部，连接部分别与基衬底和盖衬底固定连接，电极与基衬底固定连接并与盖衬底电连接，致动部与连接部耦合；致动部与电极之间设置有间隙，以使在致动部和电极之间形成电容；电极用于接收电信号，并根据电信号驱动致动部；电极上设置有凹槽，凹槽沿电极的厚度方向延伸，且凹槽的开口朝向盖衬底。在电极上沿厚度方向设置有凹槽，解决了现有技术中器件层受挤压后电学性能变差而影响致动部动作的问题，并通过本发明中的加工方法对所述凹槽及间隙进行加工。

本申请是2022年12月07日提交的、申请号为202211565009.8、发明名称为“一种器件芯片、微机电系统及其封装结构”的分案申请。

技术领域

本发明涉及微观机械系统技术领域，尤其是一种器件芯片中凹槽及间隙的加工方法。

背景技术

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

微机电系统是使用半导体技术制造的并以形成机械和电子部件的器件。常见的微机电系统有谐振器、加速器、压力传感器、致动器、反射镜、加热器以及打印机喷头等。

相关的微机电系统由器件芯片（MEMS芯片）和控制芯片（CMOS芯片，CMOS是Complementary Metal Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体的缩写。它是指制造大规模集成电路芯片用的一种技术或用这种技术制造出来的芯片）组成，其中，器件芯片主要包括基衬底、盖衬底以及器件层，盖衬底与基衬底对应间隔设置，器件层设于基衬底和盖衬底之间；器件层包括电极、相互连接的连接部和致动部，其中，连接部分别与基衬底和盖衬底固定连接，电极与基衬底固定连接并和盖衬底电性耦合连接；电极靠近致动部设置，以驱动致动部动作。

上述器件芯片的器件层，特别是电极部分，受到基衬底和盖衬底的挤压，容易导致电学性能变差，从而影响致动部的动作。

发明内容

本发明所提供的器件芯片，致动部与电极之间设置有间隙，以使致动部和所述电极之间形成电容；通过在电极上沿厚度方向设置有凹槽，解决了现有技术中器件层受挤压后电学性能变差而影响致动部动作的问题。通过下述之方法能够对凹槽及间隙进行加工。

一种器件芯片中凹槽及间隙的加工方法，其中，所述器件芯片包括：基衬底、盖衬底以及器件层，其中，所述盖衬底与所述基衬底间隔设置，所述器件层设置在所述基衬底和所述盖衬底之间；所述器件层包括电极、连接部以及致动部，所述连接部分别与所述基衬底和所述盖衬底固定连接，所述电极与所述基衬底固定连接并与所述盖衬底电连接，所述致动部与所述连接部耦合；所述致动部与所述电极之间设置有间隙，以使所述致动部和所述电极之间形成电容；所述电极用于接收电信号，并根据所述电信号驱动所述致动部；所述电极上设置有凹槽，所述凹槽沿所述电极的厚度方向延伸，且所述凹槽的开口朝向所述盖衬底；

所述凹槽及间隙一次成型，其加工方法如下：

根据所述器件层的厚度设计凹槽和间隙的宽度，其中，所述间隙的宽度大于所述凹槽的宽度；所述凹槽的宽度在0.7~2.0um之间，所述间隙的宽度在1~3um之间；

在器件层的晶圆上涂覆凹槽光刻胶；

进行DRIE刻蚀。