[发明专利]一种钛钨合金靶板及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种钛钨合金靶板的制备方法，包含以下步骤：

S1:Ti-20W钛钨合金靶板采用真空电弧熔炼制作铸锭；

S2:选取一定厚度的纯度为99.7％的纯钛板，超薄纯钨片，按照81:19的比例分多层配制电极棒；所述电极棒的层数大于30层；所述电极棒的电极尺寸对角线小于280mm；所述超薄纯钨片为纯度为99.95％的超薄纯钨片；

S3:组焊好电极，采用高真空度，高电流密度的大功率3吨真空自耗电弧炉熔炼；

S4:钨含量为19～21％，且三处分析钛钨合金板中钨含量相差不超过5％；

S5:对铸锭锻造开坯，制成80～100mm厚板坯，刨面后的板坯进行热轧，所用轧机轧制力大于1000吨；

S6:靶板轧制后的板退火矫直处理；

S7:轧制后的靶板下料中断，进行刨面磨面、加工；

S8:靶板尺寸为15*127*606，其表面粗糙度为1.6微米，对靶材四周加工台阶，得到钛钨合金靶板。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S3中熔炼次数：3～4次，对锭取样分析，取样点：锭长方向5～6处。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S5中热轧温度：1050～1100℃，终轧温度大于800℃。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S5中的锻造开坯温度1200～1250℃，终锻温度850℃。

5.权利要求1～4任一项所述制备方法制备得到的钛钨合金靶板。

6.权利要求1～4任一项所述制备方法制备得到的钛钨合金靶板或权利要求5所述钛钨合金靶板在LED阴极靶材中的应用。