[发明专利]测试方法、测试装置及电子设备

权利要求书

1.一种测试方法，其特征在于，所述方法包括：

对器件进行电位扫描，测试对所述器件进行电位扫描时所述器件的衬底电流，获取所述衬底电流中的交流电流，所述电位扫描包括施加直流电压的基础上叠加交流电压，所述直流电压用于控制所述器件处于积累区或耗尽区，所述交流电压用于作为响应信号，所述衬底电流包括直流电流和所述交流电流；

相邻交流电流之间的差值绝对值首次处于第一阈值时，根据所述相邻交流电流对应的直流电压确定所述器件的平带电压。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述相邻交流电流对应的直流电压确定所述器件的平带电压，具体包括：

将所述相邻交流电流对应的相邻直流电压中较小的直流电压作为所述器件的平带电压；

或，将所述相邻交流电流对应的相邻直流电压中较大的直流电压作为所述器件的平带电压；

或，将所述相邻交流电流对应的相邻直流电压的平均电压作为所述器件的平带电压。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对器件进行电位扫描，具体包括：

确定扫描起始电压并根据测试精度确定扫描步长，所述扫描起始电压控制所述器件处于积累区；

根据所述扫描起始电压和所述扫描步长计算多个扫描电压，利用所述多个扫描电压对所述器件进行扫描，以对所述器件从积累区向耗尽区进行扫描。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对器件进行电位扫描，具体包括：

确定扫描起始电压并根据测试精度确定扫描步长，所述扫描起始电压控制所述器件处于耗尽区；

根据所述扫描起始电压和所述扫描步长计算多个扫描电压，利用所述多个扫描电压对所述器件进行扫描，以对所述器件从耗尽区向积累区进行扫描。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其特征在于，所述对器件进行电位扫描之前，所述方法还包括：

将所述器件的源极、漏极和衬底短接。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对器件进行电位扫描，具体包括：

将所述器件的栅极作为第一极，将短接后的源极、漏极和衬底作为第二极；

在所述第一极和所述第二极之间施加直流电压和交流电压，以对所述器件进行电位扫描。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其特征在于，所述获取所述衬底电流中的交流电流，具体包括：

将所述衬底电流拆分为实部和虚部，所述虚部对应的电流为所述交流电流。

8.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其特征在于，所述对器件进行电位扫描，具体包括：

根据测试速度确定预设时间，在每个扫描电压下保持所述预设时间，以对所述器件进行电位扫描。

9.一种测试装置，其特征在于，所述装置包括：

测试单元，用于对器件进行电位扫描，测试对所述器件进行电位扫描时所述器件的衬底电流，获取所述衬底电流中的交流电流，所述电位扫描包括施加直流电压的基础上叠加交流电压，所述直流电压用于控制所述器件处于积累区或耗尽区，所述交流电压用于作为响应信号，所述衬底电流包括直流电流和所述交流电流；

获取单元，用于相邻交流电流之间的差值绝对值首次处于第一阈值时，根据所述相邻交流电流对应的直流电压确定所述器件的平带电压。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器，以及与所述处理器通信连接的存储器；

所述存储器存储计算机执行指令；

所述处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，以实现如权利要求1-8中任一项所述的方法。