[发明专利]一种立式石英工艺管及加工方法

权利要求书

1.一种立式石英工艺管，其特征在于，包括筒体（1）和与筒体（1）焊接固定的第一法兰（2），所述第一法兰（2）固定在所述筒体（1）开口的一端，所述筒体（1）的下方设置有真空炉主体（31），所述真空炉主体（31）靠近所述第一法兰（2）的一侧固定有第二法兰（3），所述第二法兰（3）与所述第一法兰（2）接触，所述第二法兰（3）靠近所述第一法兰（2）的一侧固定有安装环板（33），所述第一法兰（2）的外侧壁与所述安装环板（33）的内侧壁接触，所述第二法兰（3）靠近所述第一法兰（2）的一侧固定有密封环板（32），所述第一法兰（2）靠近所述第二法兰（3）的一侧开设有供所述密封环板（32）插接的密封槽（22），所述第二法兰（3）盘远离所述第一法兰（2）盘的一侧设置有安装板（4），所述第一法兰（2）盘远离所述第二法兰（3）盘的平面与所述安装环板（33）远离所述第二法兰（3）盘的平面平齐，所述安装板（4）上设置有多个第一锁紧螺栓（41），所述第一锁紧螺栓（41）贯穿所述安装板（4）并与所述安装环板（33）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种立式石英工艺管，其特征在于，所述密封槽（22）中设置有环形的密封垫（221）和弹簧（222），所述弹簧（222）固定在所述密封垫（221）与所述密封槽（22）远离所述第二法兰（3）的槽壁之间，所述密封垫（221）远离所述弹簧（222）的一端与所述密封环板（32）抵接。

3.根据权利要求2所述的一种立式石英工艺管，其特征在于，所述安装板（4）上设置有多个第二锁紧螺栓（42），所述第二锁紧螺栓（42）贯穿所述安装板（4）并与所述第一法兰（2）螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种立式石英工艺管，其特征在于：所述第二锁紧螺栓（42）的底部插入到所述密封槽（22）中，所述第二锁紧螺栓（42）的底部抵紧所述密封垫（221）。

5.根据权利要求2-4任意一项所述的一种立式石英工艺管，其特征在于，所述第一法兰（2）靠近所述安装环板（33）的侧壁上开设有凹槽（23），所述凹槽（23）中固定有密封圈（231），所述密封圈（231）与所述安装环板（33）的内壁接触。

6.根据权利要求1所述的一种立式石英工艺管，其特征在于，所述筒体（1）靠近所述第一法兰（2）的一侧固定有插接环（13），所述第一法兰（2）上开设有供所述插接环（13）插接的插接槽（21）。

7.根据权利要求1所述的一种立式石英工艺管，其特征在于，所述第一法兰（2）上部设置有第一堵头（11）和第二堵头（12），所述第一堵头（11）和所述第二堵头（12）均与所述筒体（1）外壁固定，所述第一堵头（11）与所述第二堵头（12）在所述筒体（1）的圆周方向呈29-43度设置。

8.一种如权利要求1所述的立式石英工艺管的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、第一法兰（2）的加工：选料，第一次退火，下料，磨削成型，第一次检验，酸洗，清洗，抛光，第二次退火，第二次检验；

S2、筒体（1）的加工：选料，酸洗，清洗，车床成型，第三次退火，第三次检验；

S3、组装：第一法兰（2）和筒体（1）再酸洗，再清洗，车床焊接，第四次退火，第四次检验，第二次磨削成型，第五次检验，酸洗，清洗，抛光，第六次退火，第六次检验，包装。