[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示面板、显示装置在审

专利信息
申请号: 202310312880.5 申请日: 2023-03-28
公开(公告)号: CN116314291A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 张有为;李燕龙;伏宝泽;杨帆 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;南京京东方显示技术有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417;H01L29/10;H01L29/786;H01L21/44;H01L21/34;G09F9/30
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 雷思鸣
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置
【权利要求书】:

1.一种薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管(1)包括:

位于衬底基板(2)上且沿远离所述衬底基板(2)的一侧依次层叠的遮挡层(101),第一绝缘层(102),半导体层(103),第二绝缘层(104)以及电极层(105);

其中,所述电极层(105)包括第一电极图案(1051),第二电极图案(1052)和第三电极图案(1053),所述第三电极图案(1053)位于所述第一电极图案(1051)和所述第二电极图案(1052)之间,且与所述第一电极图案(1051)和所述第二电极图案(1052)之间均具有间隔;

所述第一电极图案(1051)在所述衬底基板(2)上的正投影,与所述半导体层(103)在所述衬底基板(2)上的正投影以及所述遮挡层(101)的目标部分在所述衬底基板(2)上的正投影均至少部分重叠,且所述第一电极图案(1051)和所述半导体层(103)通过所述第二绝缘层(104)中的第一过孔(104a)电连接,所述第一电极图案(1051)所传输的信号的电位和所述目标部分所传输的信号的电位不同;

所述第二电极图案(1052)在所述衬底基板(2)上的正投影与所述半导体层(103)在所述衬底基板(2)上的正投影至少部分重叠,且所述第二电极图案(1052)和所述半导体层(103)通过所述第二绝缘层(104)中的第二过孔(104b)电连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述遮挡层(101)具有第一遮挡结构(1011a)和第二遮挡结构(1012a),所述第一遮挡结构(1011a)和所述第二遮挡结构(1012a)相交设置,且为一体结构;

所述第一遮挡结构(1011a)在所述衬底基板(2)上的正投影覆盖所述薄膜晶体管(1)的沟道区,所述薄膜晶体管(1)的沟道区为所述第三电极图案(1053)在所述衬底基板(2)上的正投影和所述半导体层(103)在所述衬底基板(2)上的正投影的重叠区,所述第一遮挡结构(1011a)为所述目标部分;

所述第二遮挡结构(1012a)在所述衬底基板(2)上的正投影与所述第三电极图案(1053)在所述衬底基板(2)上的正投影至少部分重叠,且所述第二遮挡结构(1012a)和所述第三电极图案(1053)通过所述第一绝缘层(102)中的第三过孔(102a)和所述第二绝缘层(104)中的第四过孔(104c)电连接。

3.根据权利要求2所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述半导体层(103)包括沿第一方向(A)排布且为一体结构的第一半导体结构(1031a),第二半导体结构(1032a)和第三半导体结构(1033a);

所述第一半导体结构(1031a)在所述衬底基板(2)上的正投影覆盖所述第一过孔(104a)在所述衬底基板(2)上的正投影;

所述第二半导体结构(1032a)在所述衬底基板(2)上的正投影位于所述第一遮挡结构(1011a)在所述衬底基板(2)上的正投影内;

所述第三半导体结构(1033a)在所述衬底基板(2)上的正投影覆盖所述第二过孔(104b)在所述衬底基板(2)上的正投影。

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