[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示面板、显示装置在审
申请号: | 202310312880.5 | 申请日: | 2023-03-28 |
公开(公告)号: | CN116314291A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 张有为;李燕龙;伏宝泽;杨帆 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;南京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L29/10;H01L29/786;H01L21/44;H01L21/34;G09F9/30 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 雷思鸣 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置 | ||
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管(1)包括:
位于衬底基板(2)上且沿远离所述衬底基板(2)的一侧依次层叠的遮挡层(101),第一绝缘层(102),半导体层(103),第二绝缘层(104)以及电极层(105);
其中,所述电极层(105)包括第一电极图案(1051),第二电极图案(1052)和第三电极图案(1053),所述第三电极图案(1053)位于所述第一电极图案(1051)和所述第二电极图案(1052)之间,且与所述第一电极图案(1051)和所述第二电极图案(1052)之间均具有间隔;
所述第一电极图案(1051)在所述衬底基板(2)上的正投影,与所述半导体层(103)在所述衬底基板(2)上的正投影以及所述遮挡层(101)的目标部分在所述衬底基板(2)上的正投影均至少部分重叠,且所述第一电极图案(1051)和所述半导体层(103)通过所述第二绝缘层(104)中的第一过孔(104a)电连接,所述第一电极图案(1051)所传输的信号的电位和所述目标部分所传输的信号的电位不同;
所述第二电极图案(1052)在所述衬底基板(2)上的正投影与所述半导体层(103)在所述衬底基板(2)上的正投影至少部分重叠,且所述第二电极图案(1052)和所述半导体层(103)通过所述第二绝缘层(104)中的第二过孔(104b)电连接。
2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述遮挡层(101)具有第一遮挡结构(1011a)和第二遮挡结构(1012a),所述第一遮挡结构(1011a)和所述第二遮挡结构(1012a)相交设置,且为一体结构;
所述第一遮挡结构(1011a)在所述衬底基板(2)上的正投影覆盖所述薄膜晶体管(1)的沟道区,所述薄膜晶体管(1)的沟道区为所述第三电极图案(1053)在所述衬底基板(2)上的正投影和所述半导体层(103)在所述衬底基板(2)上的正投影的重叠区,所述第一遮挡结构(1011a)为所述目标部分;
所述第二遮挡结构(1012a)在所述衬底基板(2)上的正投影与所述第三电极图案(1053)在所述衬底基板(2)上的正投影至少部分重叠,且所述第二遮挡结构(1012a)和所述第三电极图案(1053)通过所述第一绝缘层(102)中的第三过孔(102a)和所述第二绝缘层(104)中的第四过孔(104c)电连接。
3.根据权利要求2所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述半导体层(103)包括沿第一方向(A)排布且为一体结构的第一半导体结构(1031a),第二半导体结构(1032a)和第三半导体结构(1033a);
所述第一半导体结构(1031a)在所述衬底基板(2)上的正投影覆盖所述第一过孔(104a)在所述衬底基板(2)上的正投影;
所述第二半导体结构(1032a)在所述衬底基板(2)上的正投影位于所述第一遮挡结构(1011a)在所述衬底基板(2)上的正投影内;
所述第三半导体结构(1033a)在所述衬底基板(2)上的正投影覆盖所述第二过孔(104b)在所述衬底基板(2)上的正投影。
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