[发明专利]超高温曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层及其制备方法

权利要求书

1.一种超高温曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层，其特征在于：包括层叠于曲面合金基底（1）上表面的介质/金属混合渐变过渡膜层（2）、层叠于介质/金属混合渐变过渡膜层（2）上表面的自由电子阻挡膜层（3）、层叠于自由电子阻挡膜层（3）上表面的第一介质膜层（4）、层叠于第一介质膜层（4）上表面的第二介质膜层（5）、层叠于第二介质膜层（5）上表面的第三介质膜层（6）、层叠于第三介质膜层（6）上表面的敏感膜层（7）；

所述曲面合金基底（1）由镍基合金制成；

所述介质/金属混合渐变过渡膜层（2）由以下材料制成：钇稳定氧化锆粉、镍铬粉、溶剂、粘结剂、玻璃粉、流平剂、分散剂；钇稳定氧化锆粉和镍铬粉的原料混合物的重量百分比为60%~70%；溶剂的重量百分比为15%~20%；粘结剂的重量百分比为3%~5%；玻璃粉的重量百分比为5%~10%；流平剂的重量百分比为1%~2%；分散剂的重量百分比为1%~5%；

所述自由电子阻挡膜层（3）由氧化镁纳米晶制成；

所述第一介质膜层（4）由第一种介质浆料制成；第一种介质浆料的热膨胀系数与镍基合金的热膨胀系数匹配；

所述第二介质膜层（5）由第二种介质浆料制成；第二种介质浆料的热膨胀系数与第一种介质浆料的热膨胀系数匹配，且第二种介质浆料的耐温性高于第一种介质浆料的耐温性；

所述第三介质膜层（6）由第三种介质浆料制成；第三种介质浆料的热膨胀系数与第二种介质浆料的热膨胀系数匹配，且第三种介质浆料的耐温性高于第二种介质浆料的耐温性；

所述敏感膜层（7）由氧化铟锡制成。

2.根据权利要求1所述的一种超高温曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层，其特征在于：所述曲面合金基底（1）的粗糙度为1μm~10μm；所述钇稳定氧化锆粉的粒径为20nm~500nm；所述镍铬粉的粒径为10nm~30nm；所述溶剂采用松油醇；所述粘结剂由乙基纤维素和甲苯组成；所述流平剂采用有机改性聚硅氧烷；所述第一介质膜层（4）的厚度为10μm；所述第一种介质浆料采用ESL 4986介质浆料；所述第二介质膜层（5）的厚度为10μm；所述第二种介质浆料采用ESL 4931介质浆料；所述第三介质膜层（6）的厚度为15μm；所述第三种介质浆料采用CODE 129-C介质浆料。