[发明专利]一种砷化镓研磨废料的分选富集方法

权利要求书

1.一种砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）干燥：将砷化镓研磨废料干燥，得干燥废料；

（2）自磨：所述干燥废料采用自磨的方式磨细，得自磨物料；

（3）分级筛选：所述自磨物料进行分级筛选，得筛上尾渣、中间物料I和筛下镓精矿；

（4）重力分选：所述筛下镓精矿进行重力分选，得轻渣、中间物料II和二次镓精矿；镓富集在二次镓精矿中。

2.根据权利要求1所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，所述砷化镓研磨废料来自砷化镓晶圆生产研磨、抛光工序废弃磨料以及磨削产生的废料。

3. 根据权利要求1或2所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，步骤（1）中，所述干燥废料的含水率为2 wt%以下。

4.根据权利要求3所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，步骤（1）中，干燥时的温度为80~100℃，干燥处理时间为3~5h。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，步骤（2）中，自磨物料中目数为100目以上的颗粒占70%以上；自磨处理的时间为2~5h。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，步骤（3）中，所述分级筛选分选出目数小于100目的物料作为筛上尾渣，目数为200目以上的物料作为筛下镓精矿，其余物料作为中间物料I。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，所述中间物料I返回步骤（2）中再次进行自磨。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，步骤（4）中，所述重力分选采用摇床重力分选。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，步骤（4）中，所述重力分选的参数为：给矿量20~50kg/h，给矿浓度为20~30%，冲程8~11mm，冲次300~350次/min，床面坡度1~2°；所述重力分选所得重产物为二次镓精矿，轻产物为轻渣，其余物料为中间物料II。

10.根据权利要求1~9中任一项所述的砷化镓研磨废料的分选富集方法，其特征在于，所述中间物料II返回步骤（3）中再次进行重力分选。