[发明专利]一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置

权利要求书

1.一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，其特征在于，包括：激光光源组件（1）、扩束组件（2）、超大口径平面干涉测试组件（7）、球面干涉测试组件（3）、成像组件（4）、测试对准组件（5）和光路切换组件（6）；其中，

所述激光光源组件（1）包括波长调谐激光器（101），沿波长调谐激光器（101）的输出光束方向依次设置有第一反射镜（8）、聚焦透镜（9）和第一分光棱镜（10），第一分光棱镜（10）将输出的激光光束分为透射光和反射光，沿透射光方向为成像组件（4），沿反射光反向依次设置有第二反射镜（11）和第二分光棱镜（12）；

所述成像组件（4）包括沿第一分光棱镜（10）透射光方向依次设置的干涉成像镜头（401）和CCD相机（402）；

所述测试对准组件（5）设置在第二分光棱镜（12）的透射光方向上，包括沿光路方向依次设置的毛玻片（501）、对准成像镜头（502）和CMOS相机（503）；

所述光路切换组件（6）设置在第二分光棱镜（12）的反射光方向上，包括切换反射镜（601），切换反射镜（601）用于进行大口径平面干涉测试光路和球面干涉测试光路之间的光路切换；

所述扩束组件（2）设置在大口径平面干涉测试光路上，包括沿光路方向依次设置的扩束镜（201）和Φ800mm口径准直物镜（202），所述扩束镜（201）和Φ800mm口径准直物镜（202）之间的光路上还设置有第三反射镜（13）和第四反射镜（14）；

所述超大口径平面干涉测试组件（7）设置在Φ800mm口径准直物镜（202）的后方，包括沿光路方向依次设置的Φ800mm口径透射标准镜（701）和第一被测元件（702）；

所述球面干涉测试组件（3）设置在球面干涉测试光路上，包括沿光路方向依次设置的球面透射镜头（301）和第二被测元件（302），第二被测元件（302）的下方设置有光栅尺（303）。

2.根据权利要求1所述的一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，其特征在于，所述切换反射镜（601）与旋转机构的转动轴连接，在竖直平面内转动，实现装置大口径平面干涉测试光路和球面干涉测试光路之间的光路切换。

3.根据权利要求1所述的一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，其特征在于，所述CCD相机（402）设置在相机位移台上，CCD相机（402）可沿光轴方向往复移动。

4.根据权利要求1所述的一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，其特征在于，所述波长调谐激光器（101）的中心波长为632.8nm。

5.根据权利要求1所述的一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，其特征在于，所述Φ800mm口径透射标准镜（701）的面形精度优于53nm。

6.根据权利要求1所述的一种超大口径平面或球面光学干涉测试装置，其特征在于，所述光栅尺（303）的精度为1微米。