[发明专利]光学测定机构

说明书

本发明提供一种能够用一个照度测头及检偏器来简便地测定照度及消光比的光学测定机构。构成为光学测定机构(10)由如下部件构成：照度测头(20)，其用于测定从光源(102)放射的光(L)的照度；检偏器(40)，其在测定光(L)的消光比时配置在光源(102)与照度测头(20)之间；检偏器转动装置(44)，其使检偏器(40)相对于照度测头(20)转动；以及相对移动装置(24)，其使照度测头(20)相对于检偏器(40)的位置相对移动。

技术领域

本发明涉及用于例如在制造液晶面板时的曝光中使用的取向膜曝光装置的光学测定机构。

背景技术

以往，例如在制造液晶面板时的曝光所使用的取向膜曝光装置中，在载置工件的照射面的各点，进行照度或消光比等的测定(作为消光比测定器的一例，有专利文献1)。

在测定照度时使用照度测头。另外，例如在测定消光比时，在该照度测头的朝向光源的面侧配置检偏器(基准偏振元件)。

对于消光比的测定进行具体说明，在最初的测定中，设定检偏器，使其成为朝向与曝光时使用的偏振元件的偏振方向平行的方向的状态，将透过该状态的检偏器而由照度测头接受的光的照度设为p波强度。然后，将透过从测定了p波强度的状态起使检偏器旋转90°的状态(在该情况下，检偏器的偏振轴方向成为与偏振元件的偏振方向正交的状态)的检偏器而由照度测头接受的光的照度设为s波强度。

然后，通过将这样得到的p波强度的值除以s波强度的值，由此计算出消光比。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-218098号公报

发明内容

发明所要解决的课题

这样，若想要在照射面的各点处测定照度及消光比，则需要进行检偏器相对于照度测头的装卸。因此，需要进行例如在照射面的一个点处测定照度后，使照度测头返回到原点来安装检偏器，然后再次使其移动到同一点来测定消光比这样繁琐的步骤。

或者，也存在通过预先准备用于测定照度的照度测头和用于测定消光比的另外的照度测头以及检偏器，从而不需要测定消光比时的检偏器的装卸这样的想法，但在该情况下，由于需要准备2套高价的照度测头，因此是不经济的(照度测头的校正等的工时也成为2倍)。

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于提供一种能够用一个照度测头及检偏器来简便地测定照度及消光比的光学测定机构。

用于解决课题的技术方案

根据本发明的一个方面，提供一种光学测定机构，其具备：

照度测头，其用于测定从光源放射的光的照度；

检偏器，其在测定所述光的消光比时，配置在所述光源与所述照度测头之间；

检偏器转动装置，其使所述检偏器相对于所述照度测头转动；以及

相对移动装置，其使所述照度测头相对于所述检偏器的位置相对移动。

优选地，

所述光学测定机构还具备照度测头旋转装置，该照度测头旋转装置对所述照度测头相对于所述光的照射方向的角度进行调整。

发明效果

根据本发明所涉及的光学测定机构，由于具备使照度测头相对于检偏器的位置相对移动的相对移动装置，因此在照度测头测定来自光源的光的照度时，使照度测头从检偏器离开，设定为该照度测头直接接受光，在测定消光比时，可以使检偏器位于光源与照度测头之间。

由此，能够提供一种能够用一个照度测头以及检偏器来简便地测定照度及消光比的光学测定机构。

附图说明

图1是表示具备应用了本发明的光学测定机构10的取向膜曝光装置100的图。