[发明专利]光刻机的内部环境采样装置

权利要求书

1.一种光刻机的内部环境采样装置，用于对所述光刻机内部的TVOC含量进行采样，其特征在于，包括采样泵、第一硅胶软管和Tenax-TA采样管，所述第一硅胶软管的一端与所述采样泵连接，另一端与所述Tenax-TA采样管连接，并在所述第一硅胶软管与所述Tenax-TA采样管接口处的外部包裹第一封瓶膜，所述Tenax-TA采样管远离所述第一硅胶软管的一端通过第二硅胶软管连接所述光刻机的采样口，所述第二硅胶软管和所述Tenax-TA采样管接口处的外部包裹有第二封瓶膜。

2.如权利要求1所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述第二硅胶软管远离所述Tenax-TA采样管的一端插接在所述光刻机的采样口中，且所述第二硅胶软管和所述光刻机的采样口的接口处包裹有第三封瓶膜。

3.如权利要求1所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，还包括PFA采样管，所述PFA采样管的一端插接入所述光刻机的采样口，所述PFA采样管的另一端与所述第二硅胶软管连接，且两者的连接处包裹有第三封瓶膜。

4.一种光刻机的内部环境采样装置，用于对所述光刻机内部的TVOC含量进行采样，其特征在于，包括采样泵、软管、Tenax-TA采样管和连接头，所述采样泵通过所述软管与所述Tenax-TA采样管连通，所述连接头的一端与所述Tenax-TA采样管远离所述软管的一端连接，另一端装配有与所述连接头同一材质的采样管，所述采样管用于连通所述连接头和所述光刻机的采样口。

5.如权利要求4所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接头与所述采样管均采用PFA材质。

6.如权利要求4所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接头包括连接管和设置在所述连接管两端的两个卡合件，所述连接管两端的内壁分别与所述采样管的外壁和所述Tenax-TA采样管的外壁连接，所述卡合件分别嵌入所述采样管和所述Tenax-TA采样管位于所述连接管中的一段，其中，所述卡合件上还设有贯穿孔，以通过所述贯穿孔与所述连接管、所述Tenax-TA采样管和所述采样管的内腔形成气流通道。

7.如权利要求6所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述卡合件包括圆柱段和斜坡，所述圆柱段的两端分别连接有斜坡，所述圆柱段的外径不小于所述斜坡的外径，其中，所述贯穿孔沿所述圆柱段的轴向方向开设。

8.如权利要求7所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接管的两端均可拆卸连接有限位帽，所述限位帽上开设有与所述连接管同轴的限位孔，用以使所述Tenax-TA采样管或所述采样管穿过，所述限位孔的直径小于所述圆柱段的外径，以将所述卡合件压合在所述连接管的内部。

9.如权利要求8所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接管的外壁与所述限位帽的内壁螺纹连接。

10.如权利要求8所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接管的内腔中具有至少一个限位凸环，所述限位凸环的端面和所述卡合件的端部可分离式连接，以使所述斜坡至少部分地露出所述连接管。