[发明专利]MEMS致动器组结构

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS致动器，包括：

适于附接到光电子装置的平台；

围绕所述平台且与所述平台侧向间隔开的外框架；

导电挠曲线，其在所述MEMS致动器上方延伸并且在所述平台和所述外框架之间提供导电联接；

多个梳状驱动区，每个梳状驱动区包括移动部分和固定部分，所述平台围绕所述多个梳状驱动区；

每个所述梳状驱动区包括多对相对的梳状结构，每个所述对包括第一梳状结构和第二梳状结构，第一梳状结构的第一齿联接到固定构件，第二梳状结构的第二齿联接到可移动构件，所述固定构件平行于所述可移动构件，以及联接在所述平台和所述可移动构件之间的悬臂，

其中，所述第一齿和第二齿彼此平行定向，并且其中，所述第一齿的端部和所述第二齿的端部形成重叠区域，所述第一齿的相邻端部置于所述第二齿的相邻端部之间。

2.根据权利要求1所述的MEMS致动器，其中，所述第一齿是锥形的，使得所述第一齿的所述端部比所述第一齿的其他部分窄，并且所述第二齿是锥形的，使得所述第二齿的所述端部比所述第二齿的其他部分窄。

3.根据权利要求1所述的MEMS致动器，其中，所述固定构件包括多个固定脊部，所述可移动构件包括多个可移动脊部，所述第一齿从所述固定构件的固定脊部向所述可移动构件的可移动脊部延伸，并且所述第二齿从所述可移动构件的可移动脊部朝向所述固定构件的固定脊部延伸，所述固定脊部平行于所述可移动脊部。

4.根据权利要求3所述的MEMS致动器，其中，所述固定构件包括固定杆，并且所述多个固定脊部与所述固定杆正交，并且所述可移动构件包括可移动杆，并且所述多个可移动脊部与所述可移动杆正交。

5.根据权利要求3所述的致动器组件，其中，每个所述固定脊部包括接合到其一侧的所述第一齿和接合到其相对侧并且朝向所述可移动构件的另一可移动脊部延伸的相对齿。

6.根据权利要求3所述的MEMS致动器，其中，所述固定构件包括固定杆，并且所述多个固定脊部与所述固定杆正交，并且所述可移动构件包括可移动杆，并且所述多个可移动脊部与所述可移动杆正交，每个所述梳状驱动区进一步包括一对运动控制悬臂，每个运动控制悬臂设置在所述梳状驱动区的外围，并且联接在所述固定杆和所述可移动杆之间。

7.根据权利要求1所述的MEMS致动器，其中，每个所述梳状驱动区还包括一对运动控制悬臂，每个运动控制悬臂设置在所述梳状驱动区的外围，并且联接在所述可移动构件和所述固定构件之间。

8.根据权利要求7所述的MEMS致动器，其中，所述悬臂的一端在所述梳状驱动区的外围部分附接到所述可移动构件。