[发明专利]高致密、高塑性钼镍钛合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：

取设定量的钼粉、镍粉和钛粉，混合得到混合粉体；

将混合粉体真空封装；

真空封装的混合粉体在冷等静压模具中进行冷等静压压制，得到钼镍钛生坯；

将得到的钼镍钛生坯进行真空烧结；

将真空烧结后的钼镍钛生坯进行热等静压压制，得到高致密、高塑性钼镍钛合金靶材。

2.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述混合粉体中，钼粉的质量含量为30～80％，镍粉的质量含量为10～30％，钛粉的质量含量为10～40％。

3.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，冷等静压压制过程的压强为250Mpa，压制时间为5～15min，压制温度为20～50℃。

4.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，对钼镍钛生坯进行真空烧结过程的真空度为1×10^-3～1×10^-2Pa，烧结温度设定为100～500℃，烧结时间设定为0.5～2h。

5.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，热等静压压制过程的压力设定为200～300Mpa，温度设定为800～1100℃，保温时间设定为1～3h。

6.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述镍粉与所述钛粉制备得到镍钛合金粉，得到的镍钛合金粉与钼粉混合，得到混合粉体，其中，所述镍钛合金粉与所述钼粉的费氏粒径比设定为1：2～50。

7.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，钼粉、镍粉、钛粉混合得到混合粉体的过程在混粉设备中进行，混粉设备中为惰性气体气氛，气氛压强设定为0.1～0.3Mpa。

8.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钛粉与所述钼粉的费氏粒径比设定为1：20～40，所述镍粉与所述钼粉的费氏粒径比设定为1：10～40。

9.根据权利要求1所述的高致密、高塑性钼镍钛合金靶材的制备方法，其特征在于，热等静压压制前对钼镍钛生坯在200～500℃下进行抽真空处理，抽真空时间设定为2～6h。

10.高致密、高塑性钼镍钛合金靶材，其特征在于，由权利要求1～9任一项所述的制备方法得到。