[发明专利]一种晶圆盒搬运机械手的移动装置

权利要求书

1.一种晶圆盒搬运机械手的移动装置，其用于搬运机械手在塔式晶圆存储柜纵向移动，其特征在于，其包括：

主体(1)，其由多个型材(11)首尾吻合拼接而成；

带轮机构(2)，其包括传动轮(21)、皮带(22)、连接件(23)和驱动件(24)；至少两个传动轮(21)同轴设置且为一组，两组传动轮(21)分别转动连接在主体(1)的两端；皮带(22)套设在两组传动轮(21)的外表面且齿纹啮合；连接件(23)连接皮带(22)两端，与皮带(22)共组成一个闭环；驱动件(24)安装在主体(1)的其中一端部，并与其中一组传动轮(21)连接，以驱动传动轮(21)转动；

安装架(3)，其与连接件(23)可拆卸连接，用于安装搬运机械手。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，相邻的两型材(11)首尾插接并吻合，并通过至少一个组装板(12)螺栓连接在两个相邻型材(11)的接缝处。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，连接件(23)包括限位板(231)和连接螺栓(232)；限位板(231)的首尾两端开口设置且其侧部水平螺纹连接有连接螺栓(232)，皮带(22)的两端分别从限位板(231)的首尾两端进入到限位板(231)内，并通过连接螺栓(232)与限位板(231)锁合成一个闭环。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，限位板(231)包括矩形框(2301)和隔板(2302)；连接螺栓(232)从矩形框(2301)外侧进入至内部并与矩形框(2301)螺纹连接，隔板(2302)沿连接螺栓(232)的长度方向滑动设置在矩形框(2301)内，矩形框(2301)内部背离连接螺栓(232)的一面设置有与皮带(22)适配的齿纹，隔板(2302)面向连接螺栓(232)的一面设置有与皮带(22)适配的齿纹，皮带(22)的两端分别贴合隔板(2302)和矩形框(2301)具有齿纹的一面。

5.根据权利要求3所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，限位板(231)包括第一支板(2303)、第二支板(2304)和第三支板(2305)；第一支板(2303)和第二支板(2304)凹凸配合且通过螺丝连为一体，第三支板(2305)通过连接螺栓(232)与第二支板(2304)连为一体，皮带(22)的其中一端位于第一支板(2303)和第二支板(2304)内，另一端位于第二支板(2304)和第三支板(2305)内。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，驱动件(24)包括驱动电机(241)和联轴器(242)；驱动电机(241)安装在主体(1)的一端且其输出轴通过联轴器(242)与传动轮(21)的中轴连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)靠向连接件(23)的一侧外部沿其长度方向嵌有齿条(4)，安装架(3)的内侧安装有可伸缩移动的棘爪(5)，棘爪(5)的棘齿端进入齿条(4)内以阻隔安装架(3)下落。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)靠向连接件(23)的一侧两端外边角沿其长度方向对称嵌有辅轨(6)，安装架(3)上活动连接与辅轨(6)适配的辅助滑轮(7)，辅助滑轮(7)的外周壁与辅轨(6)相接触。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)与安装架(3)之间还安装有坦克链(8)，用于线缆走线。

10.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)的外围连接有防护板(9)，以遮蔽带轮机构(2)。