[发明专利]MEMS谐振器及其谐振频率调整方法

权利要求书

1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：用于振动的谐振件、用于固定所述谐振件的锚固件以及连接所述锚固件和所述谐振件的耦合件；其中，所述耦合件上设有用于调节谐振频率的调整结构，所述调整结构包括设在所述耦合件上的质量块和/或开设在所述耦合件上的凹槽。

2.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述调整结构经增材和/或减材工艺形成在所述耦合件上。

3.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述耦合件设置有多个调整区，所述调整结构形成在从所述多个调整区中选定的至少一个调整区内。

4.如权利要求3所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述选定的至少一个调整区由所述MEMS谐振器的初始谐振频率和目标谐振频率确定，其中，所述初始谐振频率是指所述MEMS谐振器在未设置所述调整结构时所具有的谐振频率，所述目标谐振频率是指所述MEMS谐振器期望达到的谐振频率。

5.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述耦合件为弹性梁结构且可随着所述谐振件的振动而发生形变，所述耦合件具有直梁、曲梁或两者的组合。

6.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述谐振件呈圆环状，所述锚固件位于所述谐振件的中心位置，所述耦合件被配置为多个且均匀排布在所述谐振件和所述锚固件之间，相邻的耦合件之间具有间隙。

7.如权利要求5所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述耦合件包括依次连接的第一连接梁、第二连接梁和第三连接梁，所述第一连接梁为直梁或具有弧形结构的曲梁且一端连接所述谐振件，所述第二连接梁为具有一个或多个弯折结构的曲梁，所述第三连接梁为直梁或具有弧形结构的曲梁且一端连接所述锚固件。

8.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述谐振件、所述锚固件以及所述耦合件一体成型。

9.一种MEMS谐振器的谐振频率调整方法，所述MEMS谐振器具有谐振件、锚固件以及连接所述锚固件和所述谐振件的耦合件，其特征在于，所述谐振频率调整方法包括：

获取所述MEMS谐振器的初始谐振频率；

基于所述初始谐振频率，在所述耦合件上确定调整位置；

基于所述调整位置，在所述耦合件上进行增材和/或减材工艺处理以在所述耦合件上形成质量块和/或凹槽。

10.如权利要求9所述的MEMS谐振器的谐振频率调整方法，其特征在于，所述耦合件设置有多个调整区，所述调整位置从所述多个调整区中选定。