[发明专利]激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备

说明书

本申请实施例提供了激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备，预先在栅格图像中的竖直线的左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间设置像素偏移距离，使得在扫描成像过程中产生的位置延迟可以与预先设置的像素偏移距离抵消，从而可以通过检测左、右向扫描行的像素曝光点重合于同一直线的第二目标线段的方式，可视化测量左、右向扫描行的像素曝光点的相对位置延迟距离，实现了相对位置延迟距离的可视化检测。其次，可以根据检测得到的相对位置延迟距离对所需扫描成像的目标栅格图像中的左向或右向扫描行像素进行适应性调整，修正了左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间的相对位置延迟，提高了激光直写设备的成像精度。

技术领域

本申请涉及激光直写技术领域，尤其涉及激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备。

背景技术

现有的激光直写设备（例如申请号为：201310084860.3中的激光直写设备）采用直线排列的激光器阵列沿水平方向往复扫描曝光面的方式进行成像，即水平方向由左向右和由右向左的过程中分别扫描两个像素行。

申请人发现，出射光阵列按照现有技术中的往复扫描策略，由于激光器的开关信号的延时等因素，导致曝光图像中实际的激光曝光点相对于原始栅格图像在扫描方向产生了位置延迟，而且左向扫描行像素和右向扫描行像素的扫描方向相反，相反方向扫描使得左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间的相对位置延迟在空间上叠加，最终得到的曝光图像中左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间的相对位置差异（相对于原始栅格图像）被扩大，位置差异往往可达数十微米。

如何对上述情况下的相对位置延迟进行检测和/或提高激光直写的精度，成为了亟待解决的问题。。

发明内容

本申请实施例提供了激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备，用于实现激光直写过程中的左向扫描行像素点和右向扫描行像素点的相对位置延迟的可视化检测，修正左向扫描行像素点和右向扫描行像素点之间的相对位置延迟，提高激光直写设备的成像精度。

本申请实施例第一方面提供了一种激光直写设备的数据处理方法，可包括：

在原始栅格图像中设置等间隔的多条竖直线段，每条所述竖直线段由像素曝光点组成，并从中选定其中一条竖直线段作为第一目标线段；

将所述第一目标线段之外的多条竖直线段的左向扫描行的像素曝光点或右向扫描行的像素曝光点作为偏移像素，并对所述偏移像素进行等差偏移操作；所述等差偏移操作包括：以所述偏移像素相对所述第一目标线段的偏移方向为移动方向，将处于同一侧偏移像素按照由近及远的顺序分配符合等差数列分布的像素偏移距离，按照所述像素偏移距离对所述偏移像素进行移动；

根据所述等差偏移操作之后生成的新栅格图像中的像素曝光点位置控制所述出射光阵列执行扫描操作，其中，所述扫描操作包括：控制对应的出射光阵列沿水平方向往复移动，在往复移动过程中对各个像素行中的像素曝光点在曝光面上的映射位置进行曝光并显影形成曝光图像；

检测所述曝光图像中左向扫描行的像素曝光点和右向扫描行的像素曝光点重合于同一直线的竖直线段作为第二目标线段，并确定所述第二目标线段关联的像素偏移距离为相对位置延迟距离。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述左向扫描行或右向扫描行包含一个或多个像素行。

可选的，作为一种可能的实施方式，当右向扫描行的像素曝光点作为偏移像素，且所述第二目标线段位于所述第一目标线段的右侧时，所述方法还可以包括：

将所需成像的目标栅格图像中的右向扫描行像素相对于第一目标线段向右移动与所述相对位置延迟距离相等的距离；或者，将所需成像的目标栅格图像中的左向扫描行像素相对于第一目标线段向左移动与所述相对位置延迟距离相等的距离。

可选的，作为一种可能的实施方式，当右向扫描行的像素曝光点作为偏移像素，且所述第二目标线段位于所述第一目标线段的左侧时，所述方法还可以包括：