[发明专利]一种多材料面型可控毫米尺度透镜及其制备方法

权利要求书

1.一种多材料面型可控毫米尺度透镜的制备方法，其特征在于，具体包括步骤如下：

步骤一：待加工样品处理；

依次采用蘸有丙酮溶液和乙醇溶液的棉球对待加工衬底进行擦拭，再经过去离子水冲洗和低温烘箱烘干，目的是清除衬底表面残留的污染物，然后将衬底取出备用，样品准备完成；

步骤二：利用两束离子束斜入射刻蚀制备毫米级透镜；

首先，将准备好的样品固定在样品托上，抽真空排除空气影响，采用两束离子束以斜入射的方法进行刻蚀，在刻蚀前，首先调整样品托的高度为离子束会聚位置，然后再上调或下调样品托的高度，使两束离子束在待加工衬底表面不完全会聚，或会聚后在待加工衬底表面有一定分离；刻蚀的同时样品托匀速旋转；刻蚀完成后取出样品，毫米级透镜制备完成。

2.如权利要求1所述的一种多材料面型可控毫米尺度透镜的制备方法，其特征在于，步骤一所述的待加工衬底，包括熔融石英、蓝宝石或金刚石的透明硬质光学材料；衬底的大小为3mm-20mm，厚度为100μm-1mm，低温烘箱温度设置为50℃-100℃。

3.如权利要求1所述的一种多材料面型可控毫米尺度透镜的制备方法，其特征在于，步骤二中的离子束由电离氩气产生，仪器的工作电压为0.1-6kV，刻蚀时间为0-100小时，两束离子束的入射角度为0-10°，离子束的聚焦程度为0-100％，固定样品的样品托的旋转方式为360°匀速旋转，或特定角度范围来回摇摆旋转，旋转速度为1-6转每分钟。

4.如权利要求1所述的一种多材料面型可控毫米尺度透镜的制备方法，其特征在于，所述样品托的上调或下调高度为10μm-1000μm。

5.如权利要求1所述的一种多材料面型可控毫米尺度透镜的制备方法，其特征在于，步骤二中采用两束离子束呈对称角度进行斜入射，或采用三束或更多束离子束进行刻蚀，得到毫米级透镜结构。

6.一种多材料面型可控毫米尺度透镜，其特征在于，由权利要求1-5任一项所述的制备方法得到。