[发明专利]一种用于气浮滑块压强分布的验证装置及方法

权利要求书

1.一种用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，包括工作台(1)、设置在所述工作台(1)上的移动板(2)、驱动所述移动板(2)运动的驱动机构以及设置在所述移动板(2)上方的限位机构，所述限位机构与所述工作台(1)之间设有若干支撑柱(31)，气浮滑块(9)放置在所述移动板(2)的上方，所述气浮滑块(9)的下表面设有若干节流孔，所述气浮滑块(9)通气时，所述气浮滑块(9)与所述移动板(2)之间形成气膜，所述限位机构限制所述气浮滑块(9)向上运动，所述移动板(2)上设有第一压力传感器(8)，所述驱动机构驱动所述移动板(2)相对于所述气浮滑块(9)进行运动，所述第一压力传感器(8)检测所述气浮滑块(9)下方的压强。

2.根据权利要求1所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述驱动机构为与所述气浮滑块(9)相连的驱动杆(41)。

3.根据权利要求2所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述工作台(1)上设有固定块(42)，所述固定块(42)上设有通孔，所述驱动杆(41)穿过所述通孔。

4.根据权利要求3所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述驱动杆(41)上设有外螺纹，所述通孔内设有与所述外螺纹配合的内螺纹。

5.根据权利要求1所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述限位机构包括设置在所述支撑柱(31)上的支撑板(32)、设置在所述支撑板(32)上的下压组件以及由所述下压组件驱动的压头(33)，所述气浮滑块(9)通气时，所述压头(33)抵住所述气浮滑块(9)。

6.根据权利要求5所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述下压组件与所述压头(33)之间设有第二压力传感器(34)，用于测量所述下压组件对所述气浮滑块(9)的压力。

7.根据权利要求5所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述压头(33)有多个可进行替换使用，每个所述压头(33)的下表面的曲率不同。

8.根据权利要求5所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述下压组件包括设置在所述支撑板(32)上的差动螺杆(35)，所述差动螺杆(35)的下端连接所述压头(33)，所述差动螺杆(35)的上端设有手柄(36)。

9.根据权利要求1所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置，其特征在于，所述移动板(2)上设有位移传感器(7)，用于测量所述气膜的厚度。

10.一种如权利要求1所述的用于气浮滑块压强分布的验证装置的验证方法，其特征在于，所述验证方法包括：

S1：在电脑端建立仿真模型，输入仿真参数，生成仿真曲线图；

S2：调整限位机构到达初始位置后，将待检测的气浮滑块(9)放置在移动板(2)上并通气，限位机构抵住气浮滑块(9)，限制气浮滑块(9)向上运动；

S3：调节限位机构带动气浮滑块(9)下降，直到气膜厚度到达设定值；

S4：调节驱动机构驱动移动板(2)在气浮滑块(9)的下方运动；

S5：通过移动板(2)上的第一压力传感器(8)读取在移动过程中气浮滑块(9)下方的压强变化，并导出相关数据；

S6：对数据进行处理后与仿真曲线图进行对比分析，若两者的结果相同或相近，则进入步骤S7；若两者的结果不同，则说明仿真模型不合格，重新调整仿真模型；

S7：通过改变气膜厚度或者气浮滑块(9)的通气量，重复实验5-10次，若两者的结果均相同或相近，则说明仿真模型合格。