[发明专利]一种材料内部荧光和衍射组合分析装置及分析方法

权利要求书

1.一种材料内部荧光和衍射组合分析装置，其特征在于：包括X射线光源、三维运动台、入射准直器、出射准直器、能量分辨探测器、探测器；所述三维运动台用于放置样品，所述X射线光源位于所述三维运动台的一侧，所述探测器位于所述三维运动台的另一侧，所述入射准直器设置在第一移动机构上，所述出射准直器和所述能量分辨探测器设置在第二移动机构上；当采用成像模式时，所述X射线光源发射X射线，通过所述探测器对样品进行CT扫描；当采用荧光模式和衍射模式时，所述入射准直器通过所述第一移动机构移动至所述X射线光源和所述三维运动台之间，所述出射准直器和所述能量分辨探测器能够通过所述第二移动机构移动。

2.根据权利要求1所述的材料内部荧光和衍射组合分析装置，其特征在于：还包括测角仪，所述测角仪用于测量出射准直器和所述能量分辨探测器的转动角度。

3.根据权利要求1所述的材料内部荧光和衍射组合分析装置，其特征在于：所述探测器为平板探测器或线探测器。

4.根据权利要求1所述的材料内部荧光和衍射组合分析装置，其特征在于：所述入射准直器和所述出射准直器均为纵向准直器。

5.根据权利要求1所述的材料内部荧光和衍射组合分析装置，其特征在于：所述X射线光源采用重金属X射线光管。

6.根据权利要求1所述的材料内部荧光和衍射组合分析装置，其特征在于：所述X射线光源发射的X射线经过所述射准直器和所述出射准直器后，X射线的宽度为0.1mm，高度为20mm，长度为140mm。

7.一种采用权利要求1-6中任一项所述的材料内部荧光和衍射组合分析装置的分析方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一，将样品放置在三维运动台上，采用成像模式，开启X射线光源，使用探测器进行CT扫描，然后进行三维重建，确定并定位样品内部的夹杂物；

步骤二，采用荧光模式，开启X射线光源，能量分辨探测器和出射准直器围绕三维运动台的中心旋转至与X射线光源发射出的X射线呈90°位置，对样品内部进行荧光分析；

步骤三，采用衍射模式，并采用透射方式，开启X射线光源，能量分辨探测器和出射准直器三维运动台的中心旋转，能量分辨探测器获得不同角度下样品的散射信号，从而获得材料内部的衍射信息。