[发明专利]一种高精密温控系统及冷水机

权利要求书

1.一种高精密温控系统，用于对与热负载进行热交换的循环介质进行精密温度控制，其特征在于，包括：

管路，供循环介质循环流动；

制冷模块，设于所述管路上用于对流出热负载的循环介质进行降温调节，以将循环介质的温度调节为T₁±△t₁℃；

第一制热模块，设于所述管路上用于对降温后的循环介质进行升温调节，以将循环介质的温度调节为T₂±△t₂℃；

至少一级第二制热模块，设于所述管路上用于对经过第一制热模块升温后的循环介质进行升温调节，以将循环介质的温度调节为T±△t₃℃；

其中，T₁、T₂、T为循环介质的温度值，△t₁、△t₂、△t₃为循环介质的温度波动值，且T₁＜T₂＜T，△t₁＞△t₂＞△t₃。

2.如权利要求1所述的高精密温控系统，其特征在于，还包括热缓冲器，设于所述管路上用于对所述第二制热模块调节后的循环介质的温度波动进行缓冲抑制，以将循环介质的温度调节为T±△t℃；其中，△t为循环介质的温度波动值，并且，△t₃＞△t。

3.如权利要求1或2所述的高精密温控系统，其特征在于，所述第一制热模块包括第一电加热单元，所述第二制热模块包括第二电加热单元，所述第一电加热单元的运行功率大于所述第二电加热单元的运行功率。

4.如权利要求1或2所述的高精密温控系统，其特征在于，包括至少两级所述第二制热模块，其中，第一级第二制热模块用于将循环介质的温度调节为T_n1±△t_n1℃，第二级第二制热模块用于将循环介质的温度调节为T_n2±△t_n2℃，……，第n级第二制热模块用于将循环介质的温度调节为T±△t₃℃，其中，n为所述第二制热模块的数量，T_n1、T_n2、……、T为循环介质的温度值，△t_n1、△t_n2、……、△t₃为循环介质的温度波动值，且T₂＜T_n1＜T_n2＜……＜T，△t₂＞△t_n1＞△t_n2＞……＞△t₃。

5.如权利要求4所述的高精密温控系统，其特征在于，所述第一级第二制热模块包括第一级第二电加热单元，所述第二级第二制热模块包括第二级第二电加热单元，……，所述第n级第二制热模块包括第n级第二电加热单元，且各级所述第二制热模块的所述第二电加热单元沿循环介质自所述第一制热模块向热负载的流动方向以功率递减的方式依次设置。

6.如权利要求2所述的高精密温控系统，其特征在于，T₂-T₁＝0.01～10，T-T₂＝0.01～10，所述△t₁的温度波动值范围为±0.1～3，所述△t₂的温度波动值范围为±0.01～1，所述△t₃的温度波动值范围为±0.001～0.6，所述△t的温度波动值范围为±0.0001～0.5。

7.如权利要求1所述的高精密温控系统，其特征在于，所述第一制热模块和所述第二制热模块均采用无级调节运行功率的电加热器。

8.如权利要求1所述的高精密温控系统，其特征在于，所述第一制热模块与所述第二制热模块之间设有过滤器，所述过滤器用于对循环介质进行过滤及排气。