[发明专利]一种改善半导体激光器Smile效应的负极结构在审

专利信息
申请号: 202310438403.3 申请日: 2023-04-23
公开(公告)号: CN116247508A 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 郑婉华;司婷玉;周旭彦;程仕聪 申请(专利权)人: 潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所
主分类号: H01S5/042 分类号: H01S5/042;H01S5/024
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 赵军
地址: 262400 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 改善 半导体激光器 smile 效应 负极 结构
【权利要求书】:

1.一种改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于:包括芯片焊接区、绝缘区、连接芯片焊接区与绝缘区的齿状结构。

2.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构采用金属材料制成,厚度为10-500 μm。

3.根据权利要求2所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构为无氧铜材料制成,负极结构表面镀金。

4.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,芯片焊接区宽度为5-15 mm,长度为0.5-7 mm。

5.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,齿状结构为S形,长度为0.1-10 mm。

6.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,齿状结构间隔为0.05-1 mm。

7.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构的芯片焊接区预置In焊料或AuSn焊料,但不限于使用In焊料或AuSn焊料。

8.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构用于微通道水冷热沉封装的半导体激光器中。

9.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构的芯片焊接区与半导体激光器芯片焊接,负极结构的绝缘区与半导体激光器绝缘层贴合固定。

10.一种采用权利要求1所述的负极结构的微通道水冷封装的半导体激光器封装结构,其特征在于,包括:热沉、半导体激光器芯片、绝缘层、负极片;热沉的安装平面上设置有芯片安装区和绝缘区,半导体激光器芯片P面朝下焊接于热沉的芯片安装区,绝缘层安装于热沉的绝缘区,负极片结构焊接于半导体激光器芯片的N面,负极片结构覆盖于半导体激光器芯片和绝缘层上并固定牢固,负极片结构、半导体激光器芯片、热沉依次焊接;热沉为微通道水冷热沉。

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