[发明专利]一种改善半导体激光器Smile效应的负极结构在审
申请号: | 202310438403.3 | 申请日: | 2023-04-23 |
公开(公告)号: | CN116247508A | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 郑婉华;司婷玉;周旭彦;程仕聪 | 申请(专利权)人: | 潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/042 | 分类号: | H01S5/042;H01S5/024 |
代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 赵军 |
地址: | 262400 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 半导体激光器 smile 效应 负极 结构 | ||
1.一种改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于:包括芯片焊接区、绝缘区、连接芯片焊接区与绝缘区的齿状结构。
2.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构采用金属材料制成,厚度为10-500 μm。
3.根据权利要求2所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构为无氧铜材料制成,负极结构表面镀金。
4.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,芯片焊接区宽度为5-15 mm,长度为0.5-7 mm。
5.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,齿状结构为S形,长度为0.1-10 mm。
6.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,齿状结构间隔为0.05-1 mm。
7.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构的芯片焊接区预置In焊料或AuSn焊料,但不限于使用In焊料或AuSn焊料。
8.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构用于微通道水冷热沉封装的半导体激光器中。
9.根据权利要求1所述的改善半导体激光器Smile效应的负极结构,其特征在于,负极结构的芯片焊接区与半导体激光器芯片焊接,负极结构的绝缘区与半导体激光器绝缘层贴合固定。
10.一种采用权利要求1所述的负极结构的微通道水冷封装的半导体激光器封装结构,其特征在于,包括:热沉、半导体激光器芯片、绝缘层、负极片;热沉的安装平面上设置有芯片安装区和绝缘区,半导体激光器芯片P面朝下焊接于热沉的芯片安装区,绝缘层安装于热沉的绝缘区,负极片结构焊接于半导体激光器芯片的N面,负极片结构覆盖于半导体激光器芯片和绝缘层上并固定牢固,负极片结构、半导体激光器芯片、热沉依次焊接;热沉为微通道水冷热沉。
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