[发明专利]一种提高热电器件表面防护特性的方法

权利要求书

1.一种提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，采用化学气相沉积法在热电器件内部和周围形成敷形、无针孔、厚度均匀的派瑞林膜层。

2.根据权利要求1所述的提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步，在沉积前，采用将热电器件浸入无水乙醇中进行超声清洗的方式，对热电器件进行预处理；

第二步，清洗后采用屏蔽胶带对必要区域做屏蔽处理；

第三步，将热电器件放入派瑞林沉积仓中，关闭仓盖后将派瑞林沉积仓抽至本底真空；

第四步，对派瑞林粉末加热使之裂解成派瑞林单体后，在真空吸力作用下沉积到热电器件表面；

第五步，沉积完成后，采用镊子夹住屏蔽胶带并去除。

3.根据权利要求2所述的提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，第一步中，超声清洗温度为30～60℃，超声频率为40～80KHz，清洗时间为10～30min，清洗完成后用干燥的氮气吹干。

4.根据权利要求2所述的提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，第二步中，屏蔽处理方式为将热电器件的下陶瓷基板下表面与蓝膜盘紧密接触，在热电器件的上陶瓷基板上表面粘贴裁切的上陶瓷基板屏蔽胶带，在电极的上表面粘贴裁切的电极屏蔽胶带。

5.根据权利要求2所述的提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，第三步中，热电器件整齐排列在蓝膜盘上，将摆放热电器件的蓝膜盘放入派瑞林沉积仓进行气相沉积派瑞林膜层，热电器件排列间隔不小于1mm。

6.根据权利要求2所述的提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，第四步中，派瑞林粉末为C型或N型的派瑞林粉末。

7.根据权利要求1所述的提高热电器件表面防护特性的方法，其特征在于，派瑞林膜层的厚度为5～30μm。