[发明专利]一种钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷及其制备方法在审
申请号: | 202310464080.5 | 申请日: | 2023-04-21 |
公开(公告)号: | CN116516287A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 恽剑;熊计 | 申请(专利权)人: | 深圳市海洲数控机械刀具有限公司;四川大学 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C22C29/04;C22C29/00;C23C14/34;C23C14/00;C23C14/16 |
代理公司: | 成都其知创新专利代理事务所(普通合伙) 51326 | 代理人: | 房立普 |
地址: | 518108 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钛合金 切削 pvd 纳米 多层 涂层 金属陶瓷 及其 制备 方法 | ||
1.一种钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷,其特征在于,以Ti7Ta1/6W1/6Mo2/3CN-CrFeCoNiAl金属陶瓷作为基体,在基体上制备两种不同涂层交替沉积的CrAlN/TiAlN纳米多层复合涂层。
2.一种如权利要求1所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤如下:
S1、称取原料Ti(C,N)、TaC、Mo2 C、WC、CrFeCoNiAl粉末,混合后进行球磨;
S2、将卸载下来的混合浆料过滤,干燥后再次过筛,在过筛后的粉末中加入丁腈橡胶模压剂,再次干燥过筛;
S3、将过筛后的粉末压制成坯块,然后进行低压烧结,加压方式为氩气,烧结压力为5Mpa,烧结温度为1440℃,得到Ti7Ta1/6W1/6Mo2/3CN-CrFeCoNiAl金属陶瓷基体;
S4、对Ti7Ta1/6W1/6Mo2/3CN-CrFeCoNiAl金属陶瓷基体表面进行清洁处理;
S5、将清洁处理后的Ti7Ta1/6W1/6Mo2/3CN-CrFeCoNiAl金属陶瓷基体装入涂层沉积室,先进行二次清洁,然后在基体表面交替制备CrAlN和TiAlN涂层,在氩气保护气氛中冷却,即得到PVD纳米多层涂层金属陶瓷。
3.如权利要求2所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S1中,各原料组分的质量百分比如下:
58%Ti(C,N)、6%TaC、12%Mo2 C、6%WC、18%CrFeCoNiAl。
4.如权利要求2所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S1中,球磨过程使用硬质合金小球进行球磨,研磨介质为汽油,研磨速度为56r/min,球磨时间3d。
5.如权利要求1所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S2中,采用400目筛过滤混合料浆。
6.如权利要求2所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S3中,压制成坯块的方法是:将粉末装在压模内,通过压机将其加工成坯块,压制压力为100MPa,刀片型号为CNMG120408,强度条尺寸为6.5×5.25×20mm。
7.如权利要求1所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S4的清洁处理方法是:水磨砂纸研磨,抛光,乙醇超声波清洗表面污物,然后喷砂处理,烘干。
8.如权利要求2所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S5中,将Ti7Ta1/6W1/6Mo2/3CN-CrFeCoNiAl金属陶瓷基体装入涂层沉积室,保持基体和靶材之间的距离为15mm~50mm。
9.如权利要求8所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S5中,二次清洁方法是:在真空度为5.0×10-3MPa时,利用氩离子轰击基体表面并进行60-80分钟的加热。
10.如权利要求9所述的钛合金切削用的PVD纳米多层涂层金属陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S5中,在基体表面交替制备CrAlN和TiAlN涂层的方法是:在450℃的氮气氩气氛围中利用纯度为99.99%、成分为Cr50Al50和Ti50Al50的溅射靶在金属陶瓷基体表面交替制备CrAlN和TiAlN涂层,涂层总厚度为0.8~1.6μm。
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