[发明专利]基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器

权利要求书

1.基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，其特征在于，包括依序设置在光路上的激光二极管、准直透镜、干涉滤光片、衰减片、激光腔镜和压电陶瓷；所述多模外腔半导体激光器的输出端光路上设有模间隔锁定回路；

所述激光二极管发出的相干光束进入准直透镜，经过准直透镜准直为平行光；所述平行光经过干涉滤光片后被选模，得到被选模的平行光；所述被选模的平行光经衰减片到达激光腔镜，经激光腔镜反射后得到与被选模的平行光共线反向的反射光；所述反射光经衰减片、干涉滤光片、准直透镜后返回到激光二极管，反射光在激光腔镜与激光二极管的输出光端面构成的谐振腔中振荡、放大，超过预设的激光器振荡阈值后，经激光腔镜输出多模激光；所述模间隔锁定回路接收多模激光，并对多模激光进行模间隔锁定。

2.根据权利要求1所述的基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，其特征在于，所述模间隔锁定回路包括半波片、偏振分光棱镜、高频探测器、微波源、混频器和伺服反馈电路；多模外腔半导体激光器输出的多模激光经半波片射入偏振分光棱镜，被偏振分光棱镜分为2束子激光；第一束子激光进入高频探测器，经高频探测器探测得到模间隔信号，所述模间隔信号经过混频器后与微波源的参考信号进行相位比较，得到误差信号，所述误差信号经过伺服反馈电路后反馈到多模外腔半导体激光器中，对多模外腔半导体激光器的模间隔进行锁定；第二束子激光作为多模外腔半导体激光器的输出光。

3.根据权利要求1所述的基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，其特征在于，所述干涉滤光片透射带宽水平或下凹。

4.根据权利要求1所述的基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，其特征在于，所述干涉滤光片透射带宽大于多模外腔半导体激光器的相邻纵模间隔。

5.根据权利要求1所述的基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，其特征在于，通过改变衰减片的角度控制外腔的反馈率，令多模外腔半导体激光器工作在多模状态。

6.根据权利要求1所述的基于模间隔锁定的高稳定度多模外腔半导体激光器，其特征在于，通过改变多模外腔半导体激光器的电流和温度，调整介质增益谱线与干涉滤光片透射带宽的匹配程度，得到多个损耗和增益相等的纵模。