[发明专利]一种半导体生产设备数据的处理方法、系统及介质

权利要求书

1.一种半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

上传步骤：

步骤A1：定义拆分数据的标签，将生产设备运行过程中产生的数据按照每一类属性数据对应一个标签，并将每一个标签对应的数据内容存储为一个csv文件；

步骤A2：将每一个csv文件赋予一个唯一识别码，并且来源于同一全局数据下的各个csv文件之间通过所述唯一识别码进行关联及区分；

步骤A3：将步骤A2处理后所有csv文件作为待解析文件，上传到待解析目录；

解析加载步骤：

步骤B1：使用Loader程序按照预定间隔时间扫描所述待解析目录；

步骤B2：历遍所述待解析目录中所有待解析文件，使用BrockerLoader程序进行解析加载到指定数据库；

步骤B3：解析加载完成后，将对应的csv文件从待解析目录移动到历史目录。

2.如权利要求1所述的半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于，

其中，步骤A2中利用MD5UUID算法将每一个csv文件赋予一个UUID识别码。

3.如权利要求1所述的半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于：

其中，步骤A3中所述待解析目录采用HDFS目录，半导体生产设备通过Agent程序将待解析文件上传到该HDFS目录。

4.如权利要求1所述的半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于：

其中，步骤B1中所述预定间隔时间为10min。

5.如权利要求1所述的半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于：

其中，步骤B2中所述指定数据库为MPP数据库。

6.如权利要求1所述的半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于，还包括：

下载步骤：

步骤C1：从所述指定数据库中获取解析后的文件，生成下发文件下发到待下载目录；

步骤C2：需要下载数据的半导体生产设备定期从所述待下载目录中下载数据；

步骤C3：下载完成后，将对应的csv文件从待下载目录移动到备份目录。

7.如权利要求6所述的半导体生产设备数据的处理方法，其特征在于：

其中，步骤C1中所述待下载目录采用HDFS目录，步骤C2中所述需要下载数据的半导体生产设备通过Agent程序从该HDFS目录进行数据下载。