[发明专利]导热膜及其制备方法和应用在审
申请号: | 202310484559.5 | 申请日: | 2023-04-27 |
公开(公告)号: | CN116525569A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 周明;潘卓成;潘智军 | 申请(专利权)人: | 安徽宇航派蒙健康科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黎金娣 |
地址: | 230031 安徽省合肥市蜀山区湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导热 及其 制备 方法 应用 | ||
本申请提供一种导热膜及其制备方法和应用,导热膜包括层叠设置的至少两层碳质导热层,相邻碳质导热层之间设置有钛金属层;导热膜还包括碳化钛层,碳化钛层位于相邻所述碳质导热层和所述钛金属层之间。本申请采用钛金属层连接多层碳质导热层,钛金属层与多层碳质导热层之间形成稳定的碳化钛层,实现导热膜的高导热性和高厚度。
技术领域
本申请涉及导热技术领域,特别是涉及一种导热膜及其制备方法和应用。
背景技术
随着手机朝向高性能和小型化的方向发展,芯片的发热量越来越大,受限于手机内的狭小空间,热量易聚集形成热点,进而导致芯片不能正常工作,因此需要采用具有较高横向热导率的材料进行分散热量。对于4G手机,通常采用人工石墨导热膜,其以聚酰亚胺薄膜为原料,通过碳化、石墨化、压延工艺制备得到,导热系数能够在1500W/m·K左右。然而,随着5G手机的推出,芯片热功耗超过4G手机的2.5倍,受限于聚酰亚胺薄膜原料,人工石墨导热膜的厚度(厚度≤60μm)无法满足散热要求。
因此,如何提供一种具有高导热系数且高厚度的导热膜,成为目前迫切需要解决的技术问题。
发明内容
基于此,有必要提供一种导热膜及其制备方法和应用,采用钛金属层连接多层碳质导热层,钛金属层与多层碳质导热层之间形成碳化钛层,使导热膜具有高导热性和高厚度。
第一方面,本申请提供一种导热膜,所述导热膜包括层叠设置的至少两层碳质导热层,相邻所述碳质导热层之间设置有钛金属层;
所述导热膜还包括碳化钛层,所述碳化钛层位于相邻所述碳质导热层和所述钛金属层之间,所述碳化钛层用于连接所述碳质导热层和所述钛金属层。
在一些实施方式中,所述碳化钛层和所述碳质导热层呈一体结构,所述碳化钛层渗入所述碳质导热层的表面。
在一些实施方式中,所述碳质导热层的材料包括人工石墨、天然石墨、石墨烯和碳纳米管中的至少一种。
在一些实施方式中,所述碳质导热层的厚度为12μm~60μm。
在一些实施方式中,所述钛金属层的厚度为50nm~200nm。
在一些实施方式中,所述碳化钛层的厚度为5nm~20nm。
在一些实施方式中,所述导热膜的厚度为100μm~500μm。
在一些实施方式中,所述导热膜的导热系数为1100W/m·K~1500W/m·K。
第二方面,本申请提供一种如第一方面所述导热膜的制备方法,所述制备方法包括:
在碳质导热层的表面形成一层钛金属层,得到碳质导热层和钛金属层层叠的第一层叠体;
在所述第一层叠体的钛金属层上再设置一层碳质导热层,得到第二层叠体;或,将至少两个第一层叠体层叠,层叠过程中所述第一层叠体中钛金属层的均朝向同一方向,在暴露于最外侧的钛金属层上再设置一层碳质导热层,得到第二层叠体;
对第二层叠体进行热压后,在相邻碳质导热层和钛金属层之间形成碳化钛层,得到所述的导热膜。
在一些实施方式中,所述钛金属层的制备方式包括磁控溅射。
在一些实施方式中,采用磁控溅射制备钛金属层的过程中,所述磁控溅射的直流电源功率为50W~100W。可选地,所述磁控溅射的时间为30s~120s。进一步可选地,所述磁控溅射过程中钛靶的偏压为-60V~-40V。
在一些实施方式中,对所述第二层叠体进行热压的过程包括:
在加热的情况下对所述第二层叠体施加压力。
在一些实施方式中,所述压力为50MPa~100MPa。
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