[发明专利]一种用于碳化硅微通道反应器气密检测装置

权利要求书

1.一种用于碳化硅微通道反应器气密检测装置，包括安装架（1），其特征在于，所述安装架（1）为H形，且设置在最上端，所述安装架（1）两侧下方设置有多个密封组件（2），所述密封组件（2）包括伸缩气缸（21）和密封罩（22），所述伸缩气缸（21）垂直设置在安装架（1）下方，所述密封罩（22）固定连接在伸缩气缸（21）底端，所述密封罩（22）为桶装罩，且下方为开口；

所述密封组件（2）下方设置有放置组件（5），所述放置组件（5）用于放置反应器；

所述密封罩（22）顶壁设置有导气组件（3），所述导气组件（3）包括伸缩杆（31）、导气块（32）和安装板（33），所述伸缩杆（31）垂直固定连接在密封罩（22）顶壁，所述导气块（32）为圆形块，固定连接在伸缩杆（31）底端，且内部开设有导气槽，所述安装板（33）固定安装在导气槽槽口位置，所述安装板（33）表面开设有多个导气口（331），安装板（33）的底部设置有橡胶密封垫，橡胶密封垫上开设有与导气口（331）相匹配的开口；

所述导气口（331）内部设置有单向组件（4），所述单向组件（4）包括密封块（41）、限位块（42）和支撑条（43），所述密封块（41）密封滑动设置在导气口（331）内部，所述限位块（42）固定连接在密封块（41）上端，所述支撑条（43）固定连接在密封块（41）下端，所述密封块（41）上端为圆柱形，且下方为圆锥形，所述密封块（41）由弹性材质支撑，所述限位块（42）直径大于导气口（331）直径；由于不同面积大小的反应器需要导气的面积不同，在反应器进行导气的过程中，通过下移的支撑条（43）与反应器接触，从而带动密封块（41）和限位块（42）上移，露出导气口（331），同时在挤压作用下支撑条（43）陷入橡胶密封垫中，并且橡胶密封垫与反应器上端面挤压接触，从而实现密封，将气体导入到反应器内部，在对外部的气压进行检测，从而完成对反应器气密性的检测；

所述放置组件（5）包括底座（51）和放置座（52），所述底座（51）设置在密封罩（22）正下方，且圆心与密封罩（22）圆心在垂直投影上重合，所述放置座（52）固定连接在底座（51）上端，且内部设置有用于放置反应器的放置槽，所述放置座（52）上方一圈由弹性材质制成；

所述放置槽的内部设置有夹持组件（9），所述夹持组件（9）包括电动伸缩杆（91）、密封圈（92）、支撑盘（93）、放置盘（94）、弹簧（95）、气囊（96）、通气软管（97）、活塞筒（98）、活塞杆一（99）、活塞杆二（910）和夹块（911），所述电动伸缩杆（91）设置在底座（51）内部，所述电动伸缩杆（91）的输出端滑动贯穿底座（51）和放置座（52）并延伸至放置座（52）的内部，所述底座（51）和放置座（52）被电动伸缩杆（91）输出端滑动贯穿处固定连接有密封圈（92），所述支撑盘（93）与电动伸缩杆（91）的输出端固定连接，所述放置盘（94）设置在支撑盘（93）的上方，所述弹簧（95）固定连接在支撑盘（93）和放置盘（94）之间，所述气囊（96）的两端分别固定连接在支撑盘（93）和放置盘（94）的边缘，将支撑盘（93）和放置盘（94）密封连接，所述通气软管（97）的一端贯穿支撑盘（93）并与其固定连接，另一端贯穿活塞筒（98）的底部并与其固定连接，所述活塞筒（98）一端固定连接在放置座（52）的内壁，所述活塞杆一（99）滑动连接在活塞筒（98）的内部，所述活塞杆二（910）滑动连接在活塞杆一（99）的内部，所述夹块（911）与活塞杆二（910）的一端固定连接，所述夹块（911）的内侧固定连接有橡胶层。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅微通道反应器气密检测装置，其特征在于，所述放置座（52）上设置有检测组件（6），所述检测组件（6）用于检测密封罩（22）和放置座（52）中间密封空间的气压变化。

3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅微通道反应器气密检测装置，其特征在于，所述检测组件（6）包括密封环（61）和检测环（62），所述密封环（61）固定连接在放置座（52）上，且与底座（51）同心设置，所述密封环（61）的外圈直径与密封罩（22）的内圈直径一致，所述检测环（62）固定安装在密封环（61）内部。