[发明专利]一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺在审

专利信息
申请号: 202310523297.9 申请日: 2023-05-10
公开(公告)号: CN116426863A 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 严星冈;陈华星;邱本光;詹学武;韩健 申请(专利权)人: 广德东风半导体科技有限公司;广德东风电子有限公司
主分类号: C23C8/10 分类号: C23C8/10
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 杨润
地址: 242200 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 氧化 铜皮 分段 工艺
【权利要求书】:

1.一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,具体包括以下步骤:

步骤一:选用分段加热隧道炉作为氧化设备,在隧道炉顶部均匀分布加热电阻丝,并启动隧道炉内的加热电阻丝进行加热;

步骤二:将需要进行预氧化的铜片放置在输送机表面的限位机构内,待隧道炉内的加热电阻丝升温至设定温度后,将铜片输送隧道炉内;

步骤三:向铜片所在的该段隧道炉内注入氧气,吹至铜片的表面对铜片进行氧化,氧化后,通过输送机将铜片输送至下一段隧道炉内;

步骤四:重复步骤三使得铜片经过整个隧道炉后,再进行退火。

2.根据权利要求1所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,步骤一中隧道炉为三段加热,其中第一段隧道炉加热温度为500-600℃,第二段隧道炉加热温度为600-650℃,第三段隧道炉为650-700℃。

3.根据权利要求1所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,步骤二中铜片以竖直的方式放置在限位机构内,并且限位机构设置有若干个,该若干个限位机构均匀的布置在输送机上。

4.根据权利要求1或3所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,所述限位机构包括对称设置的两个限位立板(1),两个所述限位立板(1)相对的一侧之间开设有限位槽(2),其中限位槽(2)呈弧形设置,并且两个限位立板(1)之间对称设置有挡风板(3)。

5.根据权利要求4所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,所述挡风板(3)用于改变氧气的吹气方向,所述限位槽(2)用于对铜片进行限位。

6.根据权利要求1所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,步骤三中氧气在隧道炉以从上至下的方式吹至铜片的表面,并且氧气加热至650℃后使用。

7.根据权利要求1所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,步骤三中第一段隧道炉内的氧化时间为15-20min,第二段氧化时间为20-25min,第三段氧化时间为25-30min,并且输送机的输送速度为10cm/min。

8.根据权利要求1所述的一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,其特征在于,步骤四中以风冷的方式进行退火。

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