[发明专利]一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片在审
| 申请号： | 202310528860.1 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116520470A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郑磊;张钰;逯鑫淼;高敏;张朝晖;袁友芬;向广明;熊磊 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 层叠 波长 光栅 透射 连续 调谐 滤光 | ||
1.一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，依次层叠的基底层、中间层和周期性的光栅阵列，其特征在于：所述中间层的折射率为1.4～1.5；所述周期性光栅阵列包括多个周期性排列的直条形层叠式光栅，光栅周期P为160～400nm；层叠式光栅的线宽W为150～180nm，自下而上分别为底部Ag层、BK7层、MgF2层和顶部Ag层，MgF2层的厚度Hm与BK7层的厚度Hb满足Hm/Hb＝0.55，底部Ag层和顶部Ag层的厚度相等。
2.如权利要求1所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：所述中间层的材料为PDMS，厚度为100nm。
3.如权利要求1或2所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：所述基底层为BK7玻璃材料，厚度大于中间层和周期性的光栅阵列的厚度。
4.如权利要求3所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：所述基底层的厚度不小于200um。
5.如权利要求1所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：通过调整光栅周期P或厚度调谐所述滤光片的目标可见光波长。
6.如权利要求1或5所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：增大光栅周期，使目标可见光波长发生蓝移；减小光栅周期，使目标可见光波长发生红移。
7.如权利要求1或5所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：等比例增大BK7层与MgF2层的厚度，使目标可见光波长红移；等比例减小BK7与MgF2层的厚度，使目标可见光波长蓝移。
8.如权利要求1或5所述一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片，其特征在于：当目标可见光波段为400～500nm时，设置顶部Ag与底部Ag层的厚度为40nm，MgF2层的厚度为66nm，BK7层的厚度为120nm，线宽W为150nm，周期P为160～360nm；
当目标可见光波段为500～600nm时，设置顶部Ag与底部Ag层的厚度为80nm，MgF2层的厚度为99nm，BK7层的厚度为180nm，线宽W为150nm，周期P为160～360nm；
当目标可见光波段为600～700nm时，设置顶部Ag与底部Ag层的厚度为80nm，MgF2层的厚度为143nm，BK7层的厚度为260nm，线宽W为150nm，周期P为160～360nm；
当目标可见光波段为700～900nm时，设置顶部Ag与底部Ag层的厚度为的厚度为80nm，MgF2层的厚度为220nm，BK7层的厚度为400nm，线宽W为180nm，周期P为200～400nm。
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