[发明专利]摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构及其使用方法

说明书

一种摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构及其使用方法，基准点定位机构，包括：长臂销轴座，设置有长臂销轴；销轴座滑动机构，用于驱动长臂销轴座在水平方向滑动；水平角摆臂机构，包括：水平角摆臂、水平角摆臂定位滑块，以及水平角摆臂驱动机构；水平角摆臂定位滑块上设置有供长臂销轴插入的中心孔；竖直角摆臂机构，包括：竖直角摆臂、竖直角摆臂定位滑块，以及竖直角摆臂驱动机构；竖直角摆臂定位滑块上设置有供长臂销轴插入的中心孔。通过上述结构可以解决现有技术中缺乏用于摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，导致难以保证测量基准点的位置准确的问题。

技术领域

本发明涉及芯片检测技术领域，具体涉及一种摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构及其使用方法。

背景技术

半导体激光器的发散角是评价其光特性的重要参数。测量发散角的方法很多，例如摆臂式扫描法、CCD探测法等。但是，摆臂式扫描法具有方法简单、成本低、测量范围广等优点。摆臂式轮廓扫描法的检测原理为：将探针安装在摆臂的一端，探针绕其旋转轴旋转，且旋转轨迹经过待测元件的光学中心，扫描轨迹为最佳拟合球面上的圆弧轨迹，因此利用探头可以准确读取被测面的非球面偏离。而在上述过程中，摆臂式扫描法中测量基准点的准确性是所有测量方法的关键点，所以要保证测量基准点的准确。因此，本领域技术人员需要一种用于摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，从而保证测量基准点的位置准确。

发明内容

本发明旨在提供一种摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构及其使用方法，以解决现有技术中缺乏用于摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，导致难以保证测量基准点的位置准确的问题。为此，本发明提供一种摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，包括：

长臂销轴座，所述长臂销轴座上设置有长臂销轴；

销轴座滑动机构，与所述长臂销轴座传动相连，以驱动所述长臂销轴座在水平方向滑动；

水平角摆臂机构，包括：水平角摆臂、水平角摆臂定位滑块，以及用于驱动水平角摆臂在水平方向围绕所述长臂销轴摆动的水平角摆臂驱动机构；所述水平角摆臂定位滑块沿竖直方向滑动设置在所述水平角摆臂长度上，所述水平角摆臂定位滑块上设置有供所述长臂销轴插入的中心孔；

竖直角摆臂机构，包括：竖直角摆臂、竖直角摆臂定位滑块，以及用于驱动竖直角摆臂在竖直方向围绕所述长臂销轴摆动的竖直角摆臂驱动机构；所述竖直角摆臂定位滑块沿水平方向滑动设置在所述水平角摆臂长度上，所述竖直角摆臂定位滑块上设置有供所述长臂销轴插入的中心孔。

可选的，所述销轴座滑动机构包括：导向滑轨，以及与所述长臂销轴座配合相连的限位滑块；

所述限位滑块受驱动地滑动设置在所述导向滑轨上，以带动所述长臂销轴座沿着所述导向滑轨长度方向移动位置。

可选的，摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，还包括：定位机构支架；

所述水平角摆臂驱动机构为固定在所述定位机构支架上的驱动电机，所述水平角摆臂驱动机构通过驱动轴带动所述水平角摆臂转动；和/或，

所述竖直角摆臂驱动机构为固定在所述定位机构支架上的驱动电机，所述竖直角摆臂驱动机构通过驱动轴带动所述竖直角摆臂转动。

可选的，所述水平角摆臂为一端与所述水平角摆臂驱动机构的驱动轴固定相连，另一端朝向所述长臂销轴方向延伸的L形结构；和/或，

所述竖直角摆臂为一端与所述竖直角摆臂驱动机构的驱动轴固定相连，另一端朝向所述长臂销轴方向延伸的L形结构。

一种基准点定位机构的使用方法，用于使用摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，包括以下步骤：