[发明专利]涂布设备及钙钛矿型太阳能电池生产系统

权利要求书

1.一种涂布设备，用于在基板(5)上涂布溶液，其特征在于，所述涂布设备包括：基台(1)、涂布模头(21)和冷却机构(3)；

所述基台(1)用于放置所述基板(5)，所述涂布模头(21)与溶液源连通，所述涂布模头(21)具有涂布口，所述涂布口朝向所述基台(1)设置；

所述冷却机构(3)设置于所述基台(1)上，所述冷却机构(3)用于降低所述基板(5)的温度，且所述冷却机构(3)的温度可调节设置。

2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述基台(1)具有相对的第一端和第二端；

所述涂布模头(21)沿所述第一端至所述第二端的方向涂布所述溶液；

所述冷却机构(3)沿所述第一端至所述第二端分布，且所述冷却机构(3)靠近所述第二端的一侧的温度低于靠近所述第一端的一侧的温度。

3.根据权利要求1或2所述的涂布设备，其特征在于，所述冷却机构(3)包括设置于所述基台(1)内的冷却介质流道(311)，所述冷却介质流道(311)与冷却介质源连通。

4.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，所述冷却介质流道(311)设置有多条，且每条所述冷却介质流道(311)均对应设置有独立的所述冷却介质源。

5.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于，全部所述冷却介质流道(311)分为第一流道组和第二流道组，所述第一流道组的所述冷却介质流道(311)和所述第二流道组的所述冷却介质流道(311)交叉设置于所述基台(1)内。

6.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，还包括冷却介质管(31)，所述冷却介质管(31)内形成所述冷却介质流道(311)；

所述基台(1)上设置有与所述冷却介质管(31)对应的安装孔，所述冷却介质管(31)安装于对应的所述安装孔内，且所述冷却介质管(31)与所述安装孔之间设置有导热层。

7.根据权利要求1或2所述的涂布设备，其特征在于，所述冷却机构(3)包括设置于所述基台(1)内的制冷元件(32)。

8.根据权利要求7所述的涂布设备，其特征在于，所述制冷元件(32)设置有多个，且每个所述制冷元件(32)的温度独立控制。

9.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，还包括监测机构，所述监测机构用于监测所述基台(1)表面的温度。

10.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，还包括真空罩(41)和抽真空件；

所述真空罩(41)用于罩设于所述基台(1)上，并与所述基台(1)形成密闭空间；

所述抽真空件设置于所述真空罩(41)上，并用于对所述密闭空间抽真空。

11.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，还包括吹扫机构(22)；

所述吹扫机构(22)设置于所述涂布模头(21)上；

所述吹扫机构(22)与惰性气体源连通，所述吹扫机构(22)具有吹扫口，所述吹扫口朝向所述基台(1)设置。

12.一种钙钛矿型太阳能电池生产系统，其特征在于，包括如权利要求1至11任一项所述的涂布设备。