[发明专利]一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统

权利要求书

1.一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，包括电源(16)、阴极基底(8)、搅拌桨(1)、电解液(15)、线阳极(10)和粘附有胶膜图案(9)的阴极基底(8)，其特征在于：它还包括直线状激光束整形单元(6)、直线状激光束(4)、(5)、反射镜(2)、(3)和透光玻璃(12)；所述的透光玻璃(12)固定于搅拌桨(1)的底面；所述的直线状激光束(4)、(5)由直线状激光束整形单元(6)输出后经反射镜(2)、(3)反射后竖直向下地射向搅拌桨(1)并穿透透光玻璃(12)射向阴极基底(8)；所述的直线状激光束(4)、(5)分别位于线阳极(10)的两侧；所述的直线状激光束(4)、(5)与线阳极(10)平行；所述的直线状激光束(4)、(5)与搅拌桨(1)同步运动。

2.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的直线状激光束(4)、(5)的光斑宽度为0.05～0.1mm。

3.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的直线状激光束(4)、(5)与线阳极(10)之间的间距为0.05～0.1mm。

4.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的透光玻璃(12)到胶膜图案(9)的表面的距离为0.05～0.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的搅拌桨(1)由耐酸碱腐蚀的电绝缘材料制成。

6.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的线阳极(10)和阴极基底(8)分别与电源(16)的正极和负极电气连接。

7.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的胶膜图案(9)和阴极基底(8)完全浸没于所述的电解液(15)中，胶膜图案(9)的表面位于电解液(15)液面以下1～2mm。

8.根据权利要求1所述的一种直线状激光束辅助线阳极扫描微细电铸系统，其特征在于：所述的胶膜图案(9)的表面与水平面平行。