[发明专利]一种基于碳基材料的PN结型的压阻传感器制备方法

权利要求书

1.一种基于碳基材料的PN结型压阻传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将还原氧化石墨烯和氧化石墨烯悬浮液混合，得到混合液；

将所述混合液在基底上涂覆后干燥，得到基于碳基材料的PN结型压阻传感器。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化石墨烯悬浮液的浓度为0.1～10mg/mL；所述氧化石墨烯悬浮液的溶剂为水、乙醇、丙酮和二甲基亚砜中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化石墨烯悬浮液中的氧化石墨烯和所述还原氧化石墨烯的质量比为10:1～3。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述还原氧化石墨烯的纯度＞95wt％。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述混合包括依次进行的超声和搅拌，所述超声的时间为2～4h；所述超声的功率为200～400W；所述搅拌的时间为1～2h，所述搅拌的转速为450～650r/min。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述涂覆的方法为滴涂；所述滴涂采用移液枪进行。

7.根据权利要求1或6所述的制备方法，其特征在于，所述涂覆和干燥的次数为2～10次，且所述涂覆和干燥交替进行。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基底为Pt电极；所述干燥后，还包括将所得还原氧化石墨烯-氧化石墨烯复合膜从基底上剥离。

9.权利要求1～8任意一项所述制备方法制备得到的基于碳基材料的PN结型压阻传感器，所述基于碳基材料的PN结型压阻传感器为还原氧化石墨烯-氧化石墨烯复合膜。

10.根据权利要求9所述的基于碳基材料的PN结型压阻传感器，其特征在于，所述还原氧化石墨烯-氧化石墨烯复合膜的厚度为0.2～1μm。