[发明专利]一种电容式MEMS麦克风及其制作方法

权利要求书

1.一种电容式MEMS麦克风，其特征在于，包括：衬底、振膜、悬挂架及背板；

所述背板设于所述衬底上；

所述悬挂架设于所述背板远离所述衬底的一侧；

所述振膜的边沿悬挂设于所述悬挂架朝向所述背板的一侧；

其中，所述振膜的上表面与所述悬挂架的下表面设有第一间隙，所述振膜的下表面与所述背板的上表面设有第二间隙。

2.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜包括振膜本体和弹性部；

所述弹性部为多个，多个所述弹性部沿所述振膜本体的周向方向布设于所述振膜本体的外周侧。

3.根据权利要求2所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述弹性部呈弯折状。

4.根据权利要求3所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述悬挂架包括第一安装部、第二安装部和悬挂部；

所述第一安装部呈环形，安装于所述背板上；

所述第二安装部连接于所述第一安装部背离所述背板的一侧，与所述第一安装部垂直设置；

所述悬挂部设于所述第二安装部的下表面，所述弹性部与所述悬挂部的下表面连接，以使所述第二安装部的下表面与所述振膜本体的上表面形成所述第一间隙。

5.根据权利要求4所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述悬挂部为多个，多个所述悬挂部与多个所述弹性部对应设置。

6.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述衬底设有空腔，所述振膜设于所述空腔上，所述空腔用于供声压穿过，以使所述声压作用于所述振膜上。

7.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜和所述背板中的至少一者朝向另一者的一侧设有凸起。

8.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述背板具有多个通孔；多个所述通孔阵列布设。

9.一种用于制作如权利要求1至8任一项所述的电容式MEMS麦克风的制作方法，其特征在于，包括：

在衬底上沉积第一牺牲层；

在所述第一牺牲层的上表面沉积氮化硅，并进行刻蚀穿孔处理，得到具有多个通孔的背板；

在所述背板上和所述通孔处沉积第二牺牲层；

在所述第二牺牲层的上表面沉积多晶硅，并进行刻蚀处理，得到振膜，形成衬底-背板-振膜结构；

在所述衬底-背板-振膜结构的上表面沉积第三牺牲层，并进行刻蚀处理，以使部分所述振膜露出；

在所述第三牺牲层的外表面沉积氮化硅，得到悬挂架，所述悬挂架与所述振膜接触；

去除所述第一牺牲层、所述第二牺牲层和所述第三牺牲层，形成电容式MEMS麦克风。

10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述去除所述第一牺牲层、所述第二牺牲层和所述第三牺牲层之前，还包括：

对所述衬底进行刻蚀处理，形成空腔。