[发明专利]显示面板及其制备方法、显示装置在审

专利信息
申请号: 202310561862.0 申请日: 2023-05-16
公开(公告)号: CN116525622A 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 刘军;周斌;孙涛;苏同上 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 王晨
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制备 方法 显示装置
【权利要求书】:

1.一种显示面板,其特征在于,包括:

衬底基板;

第一源漏金属层,位于所述衬底基板的一侧;

第一平坦化层,位于所述第一源漏金属层背离所述衬底基板的一侧,所述第一平坦化层具有主过孔,所述主过孔用于暴露至少部分所述第一源漏金属层的金属,且所述第一平坦化层位于所述主过孔内的至少部分侧壁为斜面。

2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括:

第一钝化层,位于所述第一源漏金属层背离所述衬底基板的一侧,所述第一钝化层包括:

第一结构部,位于所述主过孔内,所述第一结构部包括:

至少一个辅过孔,至少部分所述辅过孔的边沿接触所述第一平坦化层的侧壁。

3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,至少一个所述辅过孔包括:

第一过孔,位于所述第一结构部的中部;

至少一个第二过孔,所述第二过孔位于所述第一结构部接触所述第一平坦化层的边沿位置。

4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述主过孔在所述衬底基板的正投影为矩形;

所述第一结构部包括四个所述第二过孔,四个所述第二过孔在所述衬底基板的正投影分布于所述矩形的四个顶角处。

5.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括:

第二源漏金属层,位于所述第一钝化层背离所述衬底基板的一侧,所述第二源漏金属层包括:

第二结构部,位于所述主过孔内且覆盖所述第一结构部;

其中,在所述第二过孔处,所述第一平坦化层面向所述第二结构部的侧壁为所述斜面,所述斜面与所述第一结构部所在平面形成的面向所述第二结构部的夹角为锐角。

6.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,在所述衬底基板的厚度方向上,所述第二结构部的厚度小于所述斜面的高度。

7.一种显示面板的制备方法,其特征在于,用于制备权利要1-6任一项所述的显示面板,所述制备方法包括:

提供衬底基板;

在所述衬底基板的一侧沉积形成第一源漏金属层;

利用沉积工艺在所述第一源漏金属层背离所述衬底基板的一侧形成第一平坦化层,所述第一平坦化层具有主过孔,所述主过孔用于暴露至少部分所述第一源漏金属层的金属,且所述第一平坦化层位于所述主过孔内的至少部分侧壁为斜面。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第一平坦化层之后,所述方法还包括:

利用沉积工艺在所述第一平坦化层背离所述衬底基板的一侧形成第一钝化层;

利用刻蚀工艺至少在所述第一钝化层位于所述主过孔内的边沿位置形成辅过孔,所述辅过孔的边沿接触所述第一平坦化层的侧壁。

9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述辅过孔包括第一过孔和第二过孔,所述利用刻蚀工艺至少在所述第一钝化层位于所述主过孔内的边沿位置形成辅过孔,包括:

利用刻蚀工艺在所述第一钝化层的中部位置形成第一过孔以及在所述第一钝化层接触所述第一平坦化层侧壁的位置形成至少一个第二过孔,其中,所述第一过孔用于暴露所述第一源漏金属层,所述刻蚀工艺对所述第一平坦化层进行各向同性刻蚀使得所述第一平坦化层位于所述主过孔内的至少部分侧壁为所述斜面。

10.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1-7任一项所述的显示面板。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司,未经合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202310561862.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top