[发明专利]一种高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀及节能方法

说明书

本发明公开了一种高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀及节能方法，真空泵节能阀包括上阀门主体和下阀门主体；上阀门主体内的隔板将上阀门主体的中间流道分割为进气通道和出气通道；出气通道一侧的隔板的侧壁上，设置可使气体以螺旋上升方式流向出气通道的出口的导流结构。高压气体流过一级文氏扩散接头和二级文氏扩散通道后，在圆弧形导流通道内以螺旋上升方式高速流向出气通道的出口，由于伯努利原理在隔板的中心位置处形成高真空度，进一步使进气通道内形成低压区。本发明能够达到干式真空泵在抽真空工作时节能节电的效果，同时大幅降低了干式真空泵的工作时的温度，使干式真空泵的零部件不易损坏，大幅延长干式真空泵的寿命。

技术领域

本发明涉及高端装备无尘车间的节能减排领域，更具体地说，涉及一种高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀及节能方法。

背景技术

干式真空泵广泛应用于半导体、光伏、LED、TFT、光学镀膜等高端装备制造企业，以提供产品制造时所需的真空生产环境，干式真空泵在工作过程中通过泵内部转子的运转压缩排出上级腔体的气体，从而达到真空的效果。但在真空泵转子运转压缩气体时会产生大量的热能。尤其是多级干式真空泵，运转过程中产生的热能是极大的损耗，同时零部件由于过热，容易造成损坏。

发明内容

本发明针对上述问题提出一种高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀及节能方法，解决高端装备无尘车间多级干式真空泵运转发热造成能量损耗，以容易损坏的问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀，包括圆盘状的上阀门主体，以及与上阀门主体相连的下阀门主体；上阀门主体的中间流道内设置隔板，隔板将上阀门主体的中间流道分割为为进气通道和出气通道；出气通道一侧的隔板的侧壁上，设置可使气体以螺旋上升方式流向出气通道的出口的导流结构。

下阀门主体内部开设二级文氏扩散通道，二级文氏扩散通道的出口端连接到出气通道内导流结构的进气侧；二级文氏扩散通道的进口端与一级文氏扩散接头的出口端连接。

一级文氏扩散接头的进口端通过气体进气接头与高压气源相连。

下阀门主体内还开设有溢流通道，溢流通道的一端与一级文氏扩散接头和二级文氏扩散通道的连接处相通，溢流通道的另一端通向进气通道内。

隔板的中心位置处，设置使气体从进气通道向出气通道单向流动的防逆流结构。

上述高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀，优选方式下，导流结构为开设在出气通道侧的隔板外侧，沿圆弧形呈逐级上升的阶梯状结构；阶梯状结构的表面与隔板的侧壁及出气通道的内壁共同构成圆弧形导流通道；二级文氏扩散通道的出口端通向阶梯状结构的第一层阶梯表面，并且二级文氏扩散通道的出气方向与圆弧形导流通道的圆弧方向相切。

上述高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀，优选方式下，导流结构为开设在出气通道侧的隔板外侧，沿圆弧形连续上升的斜坡状结构；斜坡状结构的表面与隔板的侧壁及出气通道的内壁共同构成圆弧形导流通道；二级文氏扩散通道的出口端通向斜坡状结构的最低处表面，并且二级文氏扩散通道的出气方向与圆弧形导流通道的圆弧方向相切。

上述高端装备无尘车间多级干式真空泵节能阀，优选方式下，防逆流结构包括开设在隔板中心处的气流通孔、连接在隔板靠近出气通道一侧板面上的逆流挡板支架；逆流挡板支架包括立板以及横板，立板为弧形板，其外侧的弧形表面与出气通道的内表面构成导流通道的延续通道；横板与立板成直角相连，横板的中心处开设与气流通孔同轴的支架孔。