[发明专利]一种压电陶瓷材料及其制备方法和压电器件在审
申请号: | 202310569424.9 | 申请日: | 2023-05-19 |
公开(公告)号: | CN116606136A | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | 杨月霞 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/493 | 分类号: | C04B35/493;C04B35/622;H10N30/853 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 李郎平 |
地址: | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压电 陶瓷材料 及其 制备 方法 器件 | ||
1.一种压电陶瓷材料,其特征在于,化学式为:
0.03Bi(Zn1/2Ti1/2)O3-0.07Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-0.9Pb(Zr0.46Ti0.54)O3。
2.根据权利要求1所述的压电陶瓷材料,其特征在于,还包括烧结助剂,所述烧结助剂为LiBiO2、Fe2O3、NiO和ZnO中的一种或几种。
3.根据权利要求2所述的压电陶瓷材料,其特征在于,所述烧结助剂的添加量比例为0-0.5wt%。
4.根据权利要求2所述的压电陶瓷材料,其特征在于,所述LiBiO2由Li2CO3和Bi2O3采用固相法合成。
5.根据权利要求1所述的压电陶瓷材料,其特征在于,其中,Pb源采用PbO或者Pb3O4、Zr源采用ZrO2、Ti源采用TiO2、Mn源采用MnO2,Zn源采用ZnO、Nb源采用Nb2O5。
6.根据权利要求1所述的压电陶瓷材料,其特征在于,所述压电陶瓷材料的烧结温度为850℃-950℃。
7.根据权利要求1所述的压电陶瓷材料,其特征在于,所述压电陶瓷材料的机电耦合系数Kp≥0.6,居里温度Tc330℃,介电损耗tanδ≤0.5%。
8.一种如权利要求1-7任意一项所述的压电陶瓷材料的制备方法,其特征在于,包括:
按照所述化学式的配比称量原材料,在原材料中加入去离子水,进行分散研磨,得到混合均匀的物料I;
将物料I进行烘干、过筛后,在一定预烧温度下进行预烧,得到合成物料Ⅱ;
将合成物料Ⅱ进行研磨分散,得到所述压电陶瓷材料。
9.根据权利要求8所述的压电陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述预烧温度为750-850℃。
10.一种压电器件,其特征在于,采用权利要求1-6任意一项所述的压电陶瓷材料制备。
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