[发明专利]一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘及其制备方法在审
| 申请号： | 202310572540.6 | 申请日： | 2023-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN116655386A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘娜 | 申请（专利权）人： | 山东鑫亿新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;H05B3/14;H05B3/20;C04B35/622;C04B35/632;C04B35/634 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 255000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一次性 重结晶 圆环 碳化硅 加热 及其 制备 方法 | ||
1.一种一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，其特征在于：是由以下原料按照质量百分比制成的：
碳化硅：95.3-97.98％；
氮化硼：0.02-0.20％；
水溶胶：2.0-4.5％；
所述的水溶胶为糖和聚乙烯醇的混合物。
2.根据权利要求1所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，其特征在于：糖、聚乙烯醇的混合物的质量比为：(30-70):(70-30)。
3.根据权利要求1所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，其特征在于：碳化硅为高温绿碳化硅，纯度为99.0wt.％以上。
4.根据权利要求1所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，其特征在于：碳化硅的颗粒度型号按照质量比的组成为：粗号40-65wt.％，中号10-20wt.％，细号25-40wt.％；其中粗号为100-300μm，中号为20-50μm，细号为0.5-5μm。
5.根据权利要求1所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘，其特征在于：氮化硼的粒度＜2.5μm，纯度≥98.5wt.％。
6.一种权利要求1-5任一项所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)干混料：将原料碳化硅、氮化硼加入搅拌机，搅拌40-60min，得到干混料；
(2)湿混料造粒：将糖、聚乙烯醇混合后的水溶胶，加入干混料中，搅拌60-80min，得到的混合料进行造粒，至粒径为50-350μm；
(3)成型：将造粒放入压机模型，进行压制成型，脱模，得到毛坯件；
(4)烘干：将毛坯件放入干燥箱烘干；
(5)烧成：将烘干后的毛坯件，进行重结晶烧成，冷却后获得成品。
7.根据权利要求6所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘的制备方法，其特征在于：步骤(2)将糖、聚乙烯醇混合配制成浓度为30wt.％-50wt.％的水溶胶。
8.根据权利要求6所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘的制备方法，其特征在于：步骤(3)将造粒放入压机模型，按1:(2.5-2.8)的压缩比进行压制成型。
9.根据权利要求6所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘的制备方法，其特征在于：步骤(4)烘干温度为110-170℃，烘干时间6-8h。
10.根据权利要求6所述的一次性重结晶圆环状碳化硅加热盘的制备方法，其特征在于：步骤(5)的烧成温度2250-2550℃，烧成时间为1-3h。
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