[发明专利]划片机刀片的偏心量检测方法、装置及划片机

说明书

本发明公开了一种划片机刀片的偏心量检测方法、装置及划片机。所述划片机刀片的偏心量检测方法包括：控制刀片沿Z轴移动，并利用非接触测高模块测量所述刀片移动时对应的移动电压；获取所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系；控制所述刀片在Z轴固定位置转动，并利用所述非接触测高模块测量所述刀片转动时对应的的波动电压；根据所述波动电压、所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系获取所述刀片的偏心量。本发明能够直观高效地测量出刀片的偏心量。

技术领域

本发明涉及划片机技术领域，尤其涉及一种划片机刀片的偏心量检测方法、装置及划片机。

背景技术

划片机主要通过安装在空气静压高速主轴刀盘上的刀片对晶圆进行切割，是半导体封装工艺中的重要设备。

划片机中的刀片一般为圆形，并固定在主轴上。虽然刀片与主轴顶部直接接触，但由于安装工艺原因以及刀片自身重力等原因，导致刀片的中心与主轴的中心可能不会完全重合，也即会产生偏心。当刀片在偏心的状态下使用时，会使得划片机加工精度较低。因此，对刀片的偏心量进行检测成为亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明提供了一种划片机刀片的偏心量检测方法、装置及划片机，以对划片机刀片的偏心量进行检测。

根据本发明的一方面，提供了一种划片机刀片的偏心量检测方法，所述划片机刀片的偏心量检测方法包括：

控制刀片沿Z轴移动，并利用非接触测高模块测量所述刀片移动时对应的移动电压；

获取所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系；

控制所述刀片在Z轴固定位置转动，并利用所述非接触测高模块测量所述刀片转动时对应的的波动电压；

根据所述波动电压、所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系获取所述刀片的偏心量。

可选地，所述获取所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系：

线性拟合所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系。

可选地，所述控制所述刀片在Z轴固定位置转动之前还包括：

根据所述刀片在Z轴的位置量与对应的移动电压确定所述固定位置。

可选地，所述根据所述刀片在Z轴的位置与对应的移动电压确定所述固定位置包括：

确定所述移动电压的中间值所对应的Z轴位置为所述固定位置。

可选地，所述根据所述波动电压、所述刀片的位移变化量与所述移动电压的变化量的对应关系获取所述刀片的偏心量包括：

将所述波动电压的极差代入所述对应关系以获取所述刀片的偏心量。

可选地，所述划片机刀片的偏心量检测方法还包括：重复多次执行所述控制所述刀片在Z轴固定位置转动，并利用所述非接触测高模块测量所述刀片转动时对应的波动电压的步骤；取多次波动电压的平均值作为新的波动电压。

可选地，所述固定位置包括至少两个不同的固定位置。

根据本发明的另一方面，提供了一种划片机刀片的偏心量检测装置，用于执行如上所述的划片机刀片的偏心量检测方法，所述划片机刀片的偏心量检测装置包括控制模块和非接触测高模块：

所述控制模块用于控制刀片沿Z轴移动，并控制非接触测高模块测量所述刀片移动时对应的移动电压；